판매용 중고 SEMITOOL WST-308M #9077797

SEMITOOL WST-308M은 IC (integrated circuit) 기판의 높은 처리량을 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. GaAs, SiC 및 silicon 웨이퍼를 포함한 다양한 기판 및 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 150 옴 이상의 저항으로 1000 ° C의 최대 공정 온도를 달성 할 수 있습니다. WST-308M은 필름 컴포지션의 고유한 기능과, 빠르고, 안정적이며, 정확한 프로세스를 가능하게 하는 최적화된 필름 거칠기를 제공합니다. 광범위한 litho-etch 기능을 제공하며 단일 또는 다중 단계 photolitho-etch 클러스터에서 작동 할 수 있습니다. 이 시스템은 SEMITOOL 또는 기타 호환 프로세스 장치와 호환되는 표준 재킷형 웨이퍼 캐리어를 제공합니다. SEMITOOL WST-308M 은 고급 프로세스 제어 (process control) 및 모니터링 기능 외에도 고유한 양면 웨이퍼 처리 머신으로 설계되어 처리량이 가장 높습니다. 이 도구는 "웨이퍼 (wafer) '를 처음부터 끝까지 안전하게 처리하므로 각 처리 단계에서 기판을 수동으로 회전할 필요가 없습니다. 이 에셋에는 원격 프로세스 지원 및 간단한 그래픽 사용자 인터페이스 기능을 제공하는 SEMICATOR Prostatronic 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 또한 프로세스 시뮬레이션 (process simulation) 및 프로세스 최적화 (process optimization) 기능을 통해 사용자는 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. WST-308M은 저온 처리 (LTP) 및 집적 회로 (IC) 기판 및 MLM (multi-layer metal) 증착과 같은 웨이퍼, SDL (stacked dielectric layers) 및 저온에서 적당한 온도 IC와 같은 광범위한 IC 기판에서 사용할 수 있습니다. 이 모델은 광범위한 프로세스 (process) 기능을 제공하며 시장에서 가장 진보된 포토리스 (photoresist) 시스템 중 하나로 간주됩니다. 유연성과 정밀성은 IC 기판 처리 및 마스킹에 적합한 선택입니다.