판매용 중고 SEMITOOL WST-308A1CCBT #293660328

SEMITOOL WST-308A1CCBT는 고급 반도체 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 반도체 장치 를 제조 하는 데 사용 되는 감수성 있는" 포토레지스트' 공정 의 더 빠르고, 더 정확 하고, 더 높은 수율 을 낼 수 있도록 개발 되었다. 이 장치에는 단일 웨이퍼 적재 장치, 터보 분자 펌프, 디지털 온도 컨트롤러 및 완전 연동 안전 머신이 있습니다. 고급 광학 정렬 도구 (Optical Alignment Tool) 를 통해 리소그래피 프로세스의 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 배치할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL WST-308A-1CC-BT는 사용자가 개별 레시피를 구성하고 자산 로그 데이터를 관리 할 수있는 PLC (programmable logic controller) 를 갖추고 있습니다. 안정적이고 안전한 환경을 보장하기 위해 모델은 최대 기본 압력 (< 2.5 x 10-6 Torr) 을 달성합니다. 포토레스 처리 (photoresist processing) 에 사용될 때, WST-308A1CCBT 장비는 45 ° 기울어진 각도 플랫폼을 제공하여 더 높은 처리량을 달성하기 위해 정적 및 동적 힘을 줄입니다. 통합 웨이퍼 보트 시스템은 단일 웨이퍼 로드 록으로 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 +/- 0.5 ° C의 균일 한 웨이퍼 온도를 보장하는 고급 웨이퍼 온도 조절 기계 (Advanced wafer temperature control machine) 를 특징으로합니다. 이 도구는 또한 가변 포토 esist 레벨 및 균일 성을 위해 조정 가능한 쌍극자 및 양극성 챔버를 특징으로합니다. 또한, 빠른 서브 시스템은 최대 1,800 ° C/min의 속도를 달성하여 모든 리토 사이클이 우수한 결과를 낳습니다. 또한 WST-308A-1CC-BT (Soft and Hard Bake) 프로세스를 모두 사용할 수 있으므로 기판 유형에 관계없이 높은 종횡비 리소그래피 실험의 결과를 신뢰할 수 있습니다. 마지막으로, SEMITOOL WST-308A1CCBT의 대형 LCD 디스플레이 화면을 통해 엔지니어는 자산 정보를 쉽게 보고 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, SEMITOOL WST-308A-1CC-BT는 민감한 포토 esist 프로세스의 더 빠르고, 정확하고, 더 높은 수율을 지원하도록 설계된 고급 포토 esist 모델입니다. 높은 처리량과 단단히 제어되는 리소그래피 (lithography) 매개변수는 고급 반도체 장치 제작에 이상적인 솔루션이 됩니다.