판매용 중고 SEMITOOL WST-308 #9155218

SEMITOOL WST-308 (SEMITOOL WST-308) 은 프로덕션 응용 프로그램에 매우 엄격한 프로세스 제어, 정확한 반복 가능성 및 내성을 제공 할 수있는 완전한 기능의 포토리스 처리 장비입니다. 광학 및 전자 빔 리소그래피 모두에 사용될 수있는 다양한 습식 (wet) 및 건조 처리 가능 포토 esist를 제공합니다. SEMITOOL WST 308은 정밀 포토 esist 코팅, 베이킹 및 사전 가장자리 에지 클린업 클리닝을 가능하게하기 위해 완전히 자동화 된 단일 웨이퍼 프로세스 시스템을 갖추고 있습니다. 포토 esist 코팅은 정확한 로터리 제트 스프레이 코터 (Rotary Jet Spray Coater) ™ 에 의해 제어되며, 웨이퍼에 뿌려지는 동안 포토 esist를 원자 화하기 위해 독점적 인 회전 노즐을 사용합니다. 이 장치는 정확한 코팅 두께, 반복 가능성 및 접착을 위해 독립적 인 온도 및 속도 프로파일 제어를 특징으로합니다. 웨이퍼의 가장자리는 통합 EBRS (Edge-Bead Removal Machine) ™ 를 사용하여 사전 가장자리를 깨끗하고 건조하게 다시 작업합니다. WST-308 도구는 정확한 균일성과 빠른 처리 시간을 제공하는 고급 진공 승화 베이크 에셋을 갖추고 있습니다. 온도를 안정화하고 증발 잠금점을 완화시키는 2 단계 가열이 특징입니다. 베이크 모델에는 복구 기능 (recovery feature) 이 포함되어 있어 연속적인 로드 간에 정확한 프로세스 매개변수가 유지됩니다. 이 장비는 다양한 공급 업체에서 표준, 저항 코팅 된 기판을 처리합니다. Photoresist 프로파일과 레시피를 반복해서 저장하고 리콜 할 수 있습니다. 이 시스템은 엄격한 프로세스 제어 매개변수를 충족하며, 탁월한 균일성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 스트리핑 (stripping) 및 클리닝 (cleaning) 과 같은 중요한 프로세스에 대한 수동 기술을 대체할 수 있으며, 이를 통해 프로세스 성능 및 수익률을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계는 또한 대기 압력 모니터, 절연 오일 욕조 (insulated oil bath), 자동 안전 연동 (automated safety interlock) 등 다양한 옵션과 안전 기능을 갖추고 있습니다. WST 308 은 다양한 포토레시스트 (photoresist) 애플리케이션의 요구 사항을 충족시켜 견고하고 정확한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 툴은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 에서 대용량 운영 프로세스를 위한 뛰어난 유연성, 성능 및 신뢰성을 제공합니다.