판매용 중고 SEMITOOL WST-308 #9155122
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SEMITOOL WST-308 (SEMITOOL WST-308) 은 다양한 산업 및 전자 응용 분야에 사용되는 정밀 광석학 마스크를 만드는 데 사용할 수있는 고정밀 광사 장비입니다. 이 시스템은 대규모 및 소규모 기능을 모두 위한 정밀도 및 반복 기능을 내장하고 있습니다. SEMITOOL WST 308은 모든 운영 프로세스에 대해 서보 제어 정밀도 x, y 및 z축을 갖습니다. 이 장치는 양수 (positive) 나 음수 (negative) 포토리스 스트와 함께 작동 할 수 있으며, 다중 레이어 형성에 사용되는 더 부드러운 저항을 사용할 수 있습니다. 기계는 원심력에 의존하지 않고 모든 유형의 기판을 들어 올리고, 회전하고, 배치할 수 있습니다. 2 개의 주사기 펌프는 액체 및 슬러리 기반 포토 esist를 모두 분배하기 위해 정확하고 제어 가능한 재료 흐름을 제공합니다. "펌프 '는 각기 다른 점도 수준 을 수용 할 수 있고 쉽고 안전 한 수술 을 할 수 있도록 조정 된다. 이 도구는 다양한 기판 크기에 걸쳐 포토 esist의 분포를 극대화하기 위해 스핀 (spinning-spin) 응용 프로그램에 최적화되었습니다. 자산의 소프트웨어에는 가벼운 처리량 (light throughput), 강도 (intensity), 수차 없는 (aberration-free) 이미지에 이르기까지 다양한 노출 프로파일이 있습니다. WST-308에는 온도 조절 프로세싱을위한 콜드 플레이트 (cold plate) 옵션과 작은 위치 이동을 감지하고 교정 할 수있는 자동 프레임 정렬 모델 (automated frame alignment model) 과 같은 다른 기능도 있습니다. 이렇게 하면 서로 다른 재료 두께에 대해 동일한 노출 프로파일이 일관되게 달성됩니다. 전반적으로, WST 308은 다양한 응용 프로그램에 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 동급 모든 시스템의 최고 수준의 정밀도, 반복 가능성, 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 매우 작은 피쳐 크기로 광석판 마스크 (photolithographic mask) 를 생성할 수 있으며 이미징 (Imaging) 에서 웨이퍼 (Wafer), 마스크 (Mask) 개발에 이르기까지 다양한 작업에 사용할 수 있습니다.
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