판매용 중고 SEMITOOL WST-306MI #137518

SEMITOOL WST-306MI는 대용량 사진 해설에 사용하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 고급 견고한 디자인의 WST-306MI는 최대 300mm 웨이퍼를, 온도 정확도는 0.1 ° C입니다. 이 시스템은 감광제 및 기타 액체 처리를위한 습식 벤치 및 ATP (Aseptically Transport Processor) 로 구성됩니다. SEMITOOL WST-306MI는 기판 캐리어 및 모서리 헤드 제거 설비 (edgebead removal fixture) 를 포함하여 작업 조각을 효율적으로 섭취 및 송신할 수있는 통합 컨베이어를 갖추고 있습니다. 또한이 장치는 탄소 기반 필터, 광화학 처리 시스템, 인라인 데가 서 여과 (inline degasser filtration) 와 같은 화학 수명을 극대화하기 위해 통풍을위한 여러 가지 옵션으로 설계되었습니다. WST-306MI는 젖은 화학 물질과 개발자 가스를 모두 사용하여 양성 및 음성 포토 esist, 스트리핑, 개발, 템플릿 및 마스킹과 같은 응용 프로그램을 지원합니다. 운영자가 미리 정의된 프로그램이나 사용자 정의 레시피를 사용하여 시퀀스를 실행할 수 있도록 하는 지능형 사용자 인터페이스 (Intelligent User Interface) 가 있습니다. SEMITOOL WST-306MI는 또한 표준 Cleanroom 인터페이스를 제공하며 통합 모니터링 장치를 사용하여 원격으로 모니터링 할 수 있습니다. WST-306MI는 프리 베이크, 포스트 베이크, 노출 후 베이크, 스트립 후 베이크 및 제거 후 베이크 프로세스를 포함하는 5 단계 포토 esist 프로세스 모듈을 제공합니다. 또한 기판 전송 플럼 내의 온도 센서 모니터링 (temperate sensor monitoring) 과 프로세스 캐비닛의 내부 센서 모니터링 (internal sensor monitoring) 도 포함됩니다. 전반적으로 SEMITOOL WST-306MI는 효율적인 작업 흐름을 가진 고급 포토 esist 머신으로, 다양한 포토 esist, 화학 물질 및 개발자 가스를 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 자동화된 처리 순서, 사용자 친화적 인터페이스, 통합 모니터링 기능을 통해 우수한 결과와 효율적인 운영을 실현할 수 있습니다. 이 도구는 반도체 및 광전자 산업의 대용량 응용 분야에 적합합니다.