판매용 중고 SEMITOOL WST-306 #9379931

SEMITOOL WST-306 (SEMITOOL WST-306) 은 기질에서 포토 esist를 스트립하고 청소하도록 설계된 포토 esist 스트립핑 장비입니다. 그것 은 "수산화나트륨 '과 초음파 를 약실 에 주입 하는 원리 에 작용 한다. 이 시스템은 일반적으로 반도체 제작에서 포토 esist의 스트리핑 및 청소에 사용됩니다. WST-306에는 최대 108 ° C의 가열이있는 개방형 챔버 (open-work chamber) 가 있으며, 이를 통해 가열된 화학 목욕탕과 난류 동굴이 가능합니다. 이 장치에는 각각 다른 온도 및 작동 모드에 대해 3 개의 채널이 장착되어 있습니다. 기계는 또한 정밀한 제어로 공동 가압 (cavity pressurization) 과 감압 (depressurization) 을 수행하도록 설계된 압력 게이지를 가지고 있습니다. 압력 게이지 (pressure gauge) 는 저항 스트립 프로세스에서 지정된 압력 수준을 유지하는 데 사용됩니다. SEMITOOL WST-306은 직경이 최대 200mm 인 다양한 크기의 포토 esist 기질을 수용 할 수 있습니다. 또한 AZ-, SU8 및 ArF- 포토 리스트를 포함한 다양한 포토 esist 유형과 호환됩니다. 이 공구에는 부드러운 기계식 리프트 동작 (rotating lift motion) 을 제공하는 정밀 회전 리프트 플랫폼이 포함되어 있어 섬세한 기판이 손상되지 않을 수 있습니다. 리프트 플랫폼은 청소 및 유지 관리를 위해 챔버에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 에셋은 수동으로 또는 자동 프로그램 시퀀스를 통해 작동 할 수 있습니다. 수동 모드에서 사용자는 다양한 사전 구성된 사이클 매개변수 (cycle parameter) 중에서 선택할 수 있습니다. 또한 프로그램 가능한 사이클 저장 (cycle storage) 옵션을 통해 최대 8 개의 사용자 정의 프로세스 프로파일을 저장하고 리콜하여 나중에 실행할 수 있습니다. WST-306은 반도체 기판에서 포토 esist를 스트리핑 및 청소하는 것과 관련된 응용 분야에 이상적입니다. 효율성이 높고 안정적이며, 일관성 있고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 또한 최소한의 유지 보수가 필요하므로 비용 효율성이 향상됩니다.