판매용 중고 SEMITOOL WST 172 #142238

SEMITOOL WST 172 포토 esist 장비는 반도체/MEMS 웨이퍼 처리에 가장 적합한 자동 스프레이 코팅 시스템입니다. 그것은 매우 구성 가능하며, 다양한 화학 물질을 지원하며, 3-4% 의 균일 한 두께 범위의 0.1-4 "m '의 코팅을 개발할 수 있습니다. 이 장치는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 사전 청소, 스프레이 코팅, 개발자, 스크러버 등 다양한 프로세스 모듈과 함께 사용할 수있는 플랫폼으로 설계되었습니다. 이 기계는 통합 직접 항복 노즐 분배 매니 폴드 (manifold) 도구를 사용하여 높은 해상도로 균일 한 코팅 두께를 생성합니다. 주 장치에는 REE (Robot End Effector), 스프레이 노즐, 액츄에이터 및 센서가 장착되어 있습니다. "스프레이 '" 패턴' 의 위치 는 물론 "스프레이 '크기," 스프레이' 각도 및 "스프레이 '압력 을 제어 하기 위하여" 노즐' 을 조정 할 수 있다. REE 는 기계적으로 구동되며, 브로드캐스트 구성을 조정하여 최적의 스프레이 균일성을 제공합니다. "에어로졸 '은 정확 하고 일관성 있고 반복 할 수 있는" 코우팅' 결과 를 보장 하기 위하여 제어 하는 방법 으로 고르게 분배 된다. WST 172는 코팅을위한 2 개 이상의 웨이퍼를 정렬하기위한 통합 듀얼 플래튼 회전을 특징으로하며, 프로세스 시간은 웨이퍼 당 약 15 분입니다. 다른 기능으로는 정확한 패턴을 생산하기위한 고급 패턴 제어, 프로그래밍 가능한 스프레이 레이트에 대한 다단계 조정, 코팅 검증을위한 입자 모니터링 에셋, 프로세스 중 비활성 및 제어 주변 그림자에 대한 질소 모듈 (Nitrogen Module) 이 있습니다. 이 모델에는 전용 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있으며 프로세스 중에 발생한 모든 문제에 대한 경고가 표시됩니다. 이 장비는 저온 스프레이 공정으로 작동하여 플라스틱, 유리, GaAs 등 다양한 기판과 함께 사용할 수 있습니다. "스프레이 '공정 은 유해 한 유기 용매 를 감소 시키는 데 도움 이 되므로, 재난 의 위험성 을 감소 시키고 불필요 한 손상 을 방지 하는 데 도움 이 된다. SEMITOOL WST 172는 또한 다른 SEMITOOL 머신과 조율하여 더 빠르고 효율적인 프로세스를 제공합니다. 전반적으로 WST 172 포토 esist 시스템은 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하며 단일 웨이퍼 (single wafer) 에서 대규모 처리 (large scale processing) 에 이르는 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치는 높은 수준의 균일성, 개선 된 프로세스 제어 및 폐기물 감소, 반도체 및 마이크로 패브라이션 어플리케이션 (microfabrication application) 에 이상적인 선택입니다.