판매용 중고 SEMITOOL WSST #9146530

SEMITOOL WSST (SEMITOOL WSST) 는 photomask를 이전보다 높은 해상도와 더 큰 정확도로 개발 할 수있는 혁신적인 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 최대 1.0 미크론 (micron) 의 정밀도로 포토 마스크 (photomask) 에 이미지를 생성하기 위해 함께 작동하는 일련의 기계적 (mechanical) 및 광학적 (optical) 컴포넌트로 구성됩니다. WSST 장치는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 첫 번째는 스핀 클램프-주기적 스핀들 (spin-clamp-periodic spindles) 이며, 이는 포토 마스크를위한 정확하게 제어 된 환경을 제공합니다. 두 번째 구성 요소는 강력한 광학으로, 포토 마스크 개발에 사용되는 고도로 균일하고 국소화 된 전자기 (EM) 에너지를 생성합니다. 스핀 클램프-주기적 스핀들은 광 마스킹 프로세스에 최적의 환경을 제공합니다. 원하는 구성으로 회전하고 잠글 수 있으므로 포토마스킹 (photomasking) 프로세스와 관련된 모든 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 "스핀들 '에는 온도" 센서' 가 있어서 "스핀들 '의 속도 와 방향 을 정확 히 제어 할 수 있다. 강력한 광학은 포토 마스크 개발에 사용되는 균일 하고 지역화 된 EM 에너지를 생성합니다. 이 EM "에너지 '는 일련 의" 레이저' 와 "레이저 다이오드 '에 의하여 생산 되며," 포토마스크' 의 어느 지점 으로든지 전달 될 수 있다. 기계 에는 또한 진공 "툴 '이 장착 되어 있는데, 이것 을 사용 하여" 마스크' 가 균일 한 EM "에너지 '로 고르게 노출 되도록 할 수 있다. 일단 "EM '" 에너지' 가 "포토마스크 '에 전달 되면, 그것 은" 마스크' 의 일부 를 식각 하여 무늬 로 전환 된다. 이 과정은 저전력 레이저 (low-power laser) 로 포토 마스크 (photomask) 를 검사하고 에칭되는 패턴을 감지하는 또 다른 정밀한 광학 세트에 의해 제어됩니다. 패턴이 감지되면, 결정된 패턴이 photomask에 에칭됩니다. 이 과정은 매우 정확하며, 최대 1.0 미크론의 해상도로 패터를 만들 수 있습니다. SEMITOOL WSST 에셋은 강력한 옵틱 (optic) 과 스핀들 외에도 다양한 구성 요소를 갖추고 있어 정확한 이미징 프로세스를 보장합니다. 여기에는 초음파 컨서버, 자동 교정 모델, 자동 초점 장비 및 fail-safe 시스템이 포함됩니다. 결과적으로 WSST는 포토 마스크 만들기에 혁신적인 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 탁월한 정확도와 정밀도를 제공하며 최대 1.0 미크론 (미크론) 의 해상도로 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기계는 사용자 친화적이며, 단일 운영자가 쉽게 운영 할 수 있습니다. 정확하고 정확한 포토 마스킹에 의존하는 모든 조직에 귀중한 도구입니다.