판매용 중고 SEMITOOL WSST #9097198

SEMITOOL WSST
제조사
SEMITOOL
모델
WSST
ID: 9097198
웨이퍼 크기: 8"
Wet strip system, 8".
SEMITOOL WSST는 반도체 웨이퍼와 함께 사용하도록 설계된 포토리스 장비입니다. 이 시스템은 수직 (vertical) 개념으로 만들어져 개발자들이 포토레시스트를 빠르고 정확하게 적용하고, 웨이퍼를 개발하고, 청소할 수 있습니다. 이 장치는 높은 처리량 (throughput) 을 필요로 하는 포토리토그래피 (photolithography) 를 위해 설계되었으며, 시스템 앞면을 통해 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. "로오딩 '" 스테이션' 에는 사진술사 를 제어 하는 방식 으로 분배 하는 "로봇 '암 이 설치 되어 있다. 로봇 암은 정확한 정렬 및 정확한 위치를 제공하는 SEMITOOL 웨이퍼 트랙 도구 (SEMITOOL wafer track tool) 와 연결됩니다. 일단 사진술사 가 퇴적 되면, 웨이퍼 는 개발 도상국 으로 간다. 이 자산은 웨이퍼 (wafer) 전체에서 균일 한 개발 시간과 온도를 제공 할 수 있으므로 정확성과 신뢰성이 향상됩니다. 개발자에는 유동화 된 스프레이 드 개발자 (fluidized bed of sprayed developer) 가 포함되어 있어 발달의 균일성이 뛰어납니다. 이 모델에는 효율성 및 편의성을 향상시키는 현장 내 (in-situ) 화학 재고 장비도 포함되어 있습니다. 포토레지스트가 개발되면, 웨이퍼는 깨끗한 스테이션으로 이동합니다. 이 "스테이션 '은" 웨이퍼' 의 오염 을 방지 하는 깨끗 한 환경 을 제공 하는 "마이크로 필트레이션 '장치 를 갖추고 있다. "마이크로필트레이션 '장치 는" 이온', 먼지 및 기타 오염 물질 을 포함 한 공기 입자 와 청소실 오염 물질 을 제거 할 수 있다. WSST는 안정적이고 효율적인 포토리스 (photoresist) 머신으로, 매우 정확하고 정밀하게 웨이퍼를 개발할 수 있습니다. 이 도구의 수직 (vertical) 개념을 사용하면 웨이퍼를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있으며, 개발 시간과 온도가 균일합니다. 마이크로 필트레이션 에셋은 각 웨이퍼 (wafer) 에 대해 깨끗한 환경이 유지되고 로봇 암은 정확하고 정확한 포토 esist 증착을 보장합니다. 따라서 SEMITOOL WSST는 반도체 산업의 연구원 및 개발자에게 필수적인 장비입니다.
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