판매용 중고 SEMITOOL WSST #9097196

SEMITOOL WSST는 울트라 바이올렛 레이저 기술을 사용하여 반도체 재료에 패턴을 만드는 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 신뢰할 수있는 균일성과 정확성을 갖춘 반복 가능한 장기 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소 (레이저 소스와 스테이지) 로 구성됩니다. 레이저 전원을 제어하기 위해 음향 광학 변조기 (AOM) 가 장착 된 UV 레이저 소스. 이렇게 하면 패턴 영역을 정확하게 제어할 수 있으므로 고해상도 피쳐 정의 (High Resolution Feature Definition) 를 사용할 수 있습니다. 또한 컨트롤러에는 다양한 조정 가능 매개변수 (Adjustable parameters) 가 있어 운영자가 강도, 주파수, 펄스 지속 시간을 조정할 수 있습니다. 단계는 기계의 중심입니다. 기판 홀더, 액정 모니터, 노출 매핑 도구 등 3 개의 개별 구성 요소로 구성되어 있습니다. 기판 홀더는 최대 6 인치 직경의 기판을 지원하며, 단일 배치에서 기판의 다중 저항 패턴화를 허용합니다. 액정 모니터를 사용하면 기판을 정확하게 배치할 수 있고, 이로써 연산자는 레이저 빔을 패턴 영역 (patterning area) 에 맞춰 정확하게 정렬할 수 있습니다. 노출 매핑 (Exposure Mapping) 에셋은 패턴화 과정에서 노출 맵을 측정하므로 연산자가 원하는 패턴이 제대로 노출되는지 확인할 수 있습니다. 이 모델에는 손쉬운 작동을 위한 웹 기반 GUI도 포함되어 있습니다. 인터페이스에서 사용자는 레이저 전원, 펄스 수, 노출 시간 (exposure time) 과 같은 설정을 구성할 수 있습니다. 또한, GUI 는 패터닝 진행 상황, 기판 온도 등 장비의 현재 상태에 대한 실시간 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 요약하자면, WSST는 다양한 반도체 물질을 신뢰할 수있는 패턴화 (patterning) 를 가능하게하는 고정밀 광저항 시스템입니다. 이 장치는 직관적인 웹 기반 GUI 및 고급 레이저 기술로, 패턴화 프로세스를 정확하게 제어합니다.