판매용 중고 SEMITOOL WSST-806A #9269858

SEMITOOL WSST-806A (photoresist 장비) 는 반도체 부품 제조를 위해 단일 및 다중 웨이퍼 응용 프로그램을 모두 처리하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 온도 조절 범위가 -20 ° C ~ + 75 ° C 인 전동 침수 척과 조정 가능한 중심선 높이가 특징입니다. 시스템에 고해상도 동작 장치 (high resolution motion unit) 와 스테퍼 모터 컨트롤러 (stepper motor controller) 가 장착되어 있어 원하는 높이와 각도에서 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 기계는 또한 정확한 시간 및 온도 제어를 위해 고속 스핀 모터 (spin motor) 및 온도 센서 (temperature sensor) 를 가지고 있습니다. 광저항 과정 (photoresist process) 은 마스킹 패턴을 사용하여 화학 및 에칭 과정을 통해 주어진 물질로부터 장치를 만듭니다. 이 특정 도구에서 photoresist는 웨이퍼에 적용됩니다. 응용 된 광전자는 자외선 (ultraviolet radiation) 또는 레이저 광 (laser light) 에 노출 될 수 있으며, 이는 광전자의 노출 된 영역에 에칭된다. 그러면 노출된 영역이 제거되고 정의된 패턴 뒤에 남습니다. ··· 신빙성 있고 반복 할 수 있는 결과 를 내려면, 그 과정 전체 에 걸쳐서 "포토레지스트 '의 시간 과 온도 를 정확 하게 조절 해야 한다. SEMITOOL WSST806A 에셋은 photoresist 처리를 위해 정확하고 일관되게 반복 가능한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 스핀 속도는 최대 2885 RPM이며, 최적화된 시간 및 온도 (photoresist exposure) 가 가능합니다. 이 모델은 또한 반복 가능한 결과를 위해 -20 ° C ~ + 75 ° C의 온도 조절을 가진 고해상도, 전동 침수 척을 특징으로합니다. 또한, 장비에는 인코더 인터페이스 (encoder interface) 가 장착되어 있어 웨이퍼의 중심선 높이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. WSST-806A 시스템은 반도체 제조업체가 반복 가능한 공정으로 정교한 반도체 부품을 만드는 효과적인 도구입니다. 전동 침수 척 및 자동 단위 매개변수는 정확하고 일관된 이미징 결과를 제공합니다. 고속 스핀 모터 (spin motor) 및 온도 조절은 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 노출을 제공하여 하나 또는 여러 웨이퍼의 안정적이고 반복 가능한 처리 환경을 보장합니다.