판매용 중고 SEMITOOL WSST-608-AG #9410291

SEMITOOL WSST-608-AG는 반도체 프로세스에 사용되는 고정밀 광학 부품을 만들기 위해 함께 작동하는 여러 부분으로 구성된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 자동화 플랫폼 (Automation platform), 소프트웨어 (software) 및 프로세스 제어 (process control) 구성 요소로 구성되어 있으며, 이 구성 요소는 통합 포토리토그래피 솔루션을 제공합니다. photolithography의 핵심에는 도구 헤드가 있습니다. 이 도구는 웨이퍼를 처리하는 기본 도구이며, 이미지의 투영 (projection) 과 정렬 (alignment) 을 담당합니다. WSST-608-AG에는 MEMS 기반 투영 도구 헤드가 있으며, 최대 0.2 미크론 이미지 해상도로 사용자 정의 이미지를 생성할 수 있습니다. 또한 전체 선형 (full linear) 및 기울기 조정 범위 (tilt adjustment range) 와 같은 고급 정렬 기능을 사용하여 패턴을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 장치는 또한 photoresist 무결성을 보장하기 위해 2 단계 베이크 프로세스를 갖추고 있습니다. 난방 오븐은 응용에 따라 부드럽고 강렬한 난방을 모두 제공합니다. 또한 로봇 웨이퍼 (robotic wafer) 처리를 사용하여 웨이퍼를 주의와 정확도로 처리합니다. SEMITOOL WSST-608-AG에는 사용자가 워크플로를 만들고 사용자 정의하고, 리소그래피 설정을 최적화하고, 프로세스 결과를 모니터링할 수 있는 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 다양한 옵션 (예: 사용자 정의 레시피/설정) 이 포함되어 있어 애플리케이션의 고유한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 일반적으로 사용되는 설정의 라이브러리 (Library of the commonly used settings) 를 사용하면 프로세스 설정을 빠르고 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공하여 설정을 보다 쉽게 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 컨트롤러, 모니터, 센서를 포함한 여러 프로세스 제어 구성 요소를 갖추고 있습니다. 공정 컨트롤러 (Process Controller) 는 공구에 정밀 제어 기능을 제공하여 각 레이어를 정확한 정확도로 처리합니다. 에셋은 또한 음향 신호 모니터링 장치 (acoustic signal monitoring device) 를 특징으로하며, 이는 이상 또는 모델 오류를 감지하는 데 도움이됩니다. 이렇게 하면 장비가 최적의 상태로 실행됩니다. 결론적으로, WSST-608-AG photoresist 시스템은 반도체 프로세스에 사용되는 것과 같은 고정밀 광학 부품을위한 완전한 솔루션으로 설계되었습니다. 강력한 MEMS 기반 투영 장치, 고급 정렬 기능, 2 단계 베이크 오븐, 자동 웨이퍼 처리 및 동반 소프트웨어 제품군이 특징입니다. 이 시스템은 사용자에게 통합된 솔루션을 제공하여 정확성과 반복 가능성을 보장합니다.