판매용 중고 SEMITOOL WSST-408A #9401359

SEMITOOL WSST-408A Photoresist Equipment는 완전히 자동화 된 단일 웨이퍼 습식 스트립 시스템입니다. 이 장치는 프로그래밍 가능하고 공정 제어 된 스트리핑 솔루션을 사용하여 제어 된 대기 중 단일 웨이퍼 (single wafer) 에서 포토 esist를 스트립하도록 설계되었습니다. 기계는 8,12 또는 15 인치 (200,300 또는 350mm) 를 포함하여 최대 400mm 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 40 리터의 스트립핑 솔루션과 온도 조절 계량 펌프 (4 개의 채널과 5 개의 감동적인 자석이있는) 를 갖춘 저장 탱크가 포함됩니다. 화학용량 투여는 디지털 펌프 컨트롤러 (digital pump controller) 로 정확하게 제어하는 반면, 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 프로그램 단계를 관리합니다. 스테인리스 스틸 반응 챔버에는 UV/오존 램프 및 가스 주입 시스템과 함께 4 개의 집중 벌크 헤드 및 P21 공기 순환 자산이 장착되어 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 모델은 웨이퍼를 반응 챔버 안팎으로 운송합니다. 이 장비에는 자동 액체 및 가스 배기량을위한 TurboX 진공 펌프도 있습니다. WSST-408A는 염산, 황산, 수산화 암모늄, 과산화 칼륨, 과산화수소와 같은 다양한 용액으로 광 소제를 제거 할 수 있습니다. 또한 최대 60 ° C의 온도에서 웨이퍼 (wafer) 를 제거 할 수 있으며, 더 높은 정도의 웨이퍼 표면 청결과 더 어려운 저항을 제거 할 수있는 능력이 있습니다. 최종 결과는 균일성, 수율 증가 및 처리량 증가입니다. 이 시스템은 프로세스 유연성 (process flexibility), 간단한 소프트웨어 사용자 인터페이스 (simple software user interface) 를 통해 운영자가 프로세스 조건을 변경하기 위해 매개변수를 조정할 수 있도록 설계되었습니다. SEMITOOL WSST-408A Unit에서 제공하는 다양한 기능을 사용하면 고수율 포토레지스트 스트리핑 프로세스를 선택할 수 있습니다.