판매용 중고 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870 #9265365

SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870은 다중 레벨, MEMS, MCM 및 기타 고급 반도체 장치의 대용량 생산을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 액체 및 증기 상 처리에 대한 고효율 laminar-flow 프로세스 사양을 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 필름 적용 범위와 processto-process 반복 가능성이 가능합니다. 또한 SEMITOOL ST-870에는 다중 영역 RF 바이어스 플래튼이 있습니다. 이 플래튼 (Platen) 은 빠른 열 처리를 제공하여 엄격한 처리 요구를 충족하면서 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 장치에는 통합 데이터 관리 시스템 (Integrated Data Management Machine) 이 장착되어 있어 빠르고 간편한 데이터 추적 및 보고 작업을 수행할 수 있습니다. VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870에는 사전 청소 챔버, 저항 스트립 챔버, 용매 스트립 챔버 및 스핀 코터 챔버를 포함한 다양한 공정 챔버가 있습니다. 이를 통해 도구는 다양한 photoresist 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 에셋에는 레이어 두께 측정, 레이어 프로파일 측정, 결함 분석을위한 일반 검사 (General Inspection) 가 가능한 현장 도량형 챔버도 있습니다. 이 모델은 글로벌 제어 컴퓨터 네트워크를 사용하여 프로세스 제어 및 데이터 분석을 수행합니다. 이것은 정교한 프로세스 제어 및 분석 기능을 제공합니다. 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스로 작동과 구성이 간편합니다. ST-870의 전체 열 흐름 프로파일 (최대 900 ° C) 은 광범위한 재료에 적합합니다. 이 장비는 프로세스 데이터 추적 시스템, 다중 영역 난방 플래튼 (multi-zone heating platen), 웨이퍼 및 캐리어 관리 자동화 등 다양한 맞춤형 기능으로도 제공됩니다. 요약하면, SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870은 다중 레벨, MEMS, MCM 및 기타 고급 반도체 장치의 생산을 위해 설계된 고급 포토 esist 장치입니다. 고효율 라미나 흐름 프로세싱과 사전 청소 챔버, 저항 스트립 챔버, 스핀 코터 챔버, 현장 도량형 챔버 등 다양한 공정 챔버가 특징입니다. 이 기계에는 프로세스 제어 및 데이터 분석을 위해 네트워크 컴퓨터 컨트롤이 장착되어 있습니다. 또한 프로세스 데이터 추적 자산, 다중 영역 난방 플래튼 (multi-zone heating platen), 웨이퍼 및 캐리어 관리 자동화 등 다양한 맞춤형 기능을 제공합니다.