판매용 중고 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07 #9308550

SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07은 다양한 기판에서 사진 촬영 응용 프로그램을위한 최첨단 포토 esist 장비입니다. Photolithography는 반도체 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 제조 (microelectronics manufacturing) 에 사용할 이미지, 패턴 또는 구조를 만들기 위해 기판을 빛에 노출시키는 것을 포함합니다. SEMITOOL SRD 07은이 프로세스에서 사용하도록 설계되어 안정적이고, 정확하며, 경제적인 시스템을 제공합니다. VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07은 전체 동작 범위에서 1 미크론 미만인 기판 위치 장치를 갖추고 있습니다. 또한 XY 평면에 배열 된 2 개의 레이저 빔 소스로 구성된 이중 빔 레이저 정렬 머신 (dual-beam laser alignment machine) 이 포함되어 있으며, 이는 정확한 패턴 형성을 보장하기 위해 기판을 매우 정확하게 등록합니다. 그런 다음, "레이저 '빛 을 가변 슬릿 마스크 로 통과 시켜 저항층 을 노출 시킨다. 또한, SRD 07은 고속 웨이퍼 (Wafer) 수송 도구와 고용량 저항 탱크 덕분에 탁월한 패턴화 기능을 제공합니다. "레지스트 탱크 '는 직경 이 최대 8" 인치' 인 "웨이퍼 '를 수용 할 수 있어서 많은 기판 을 대량 생산 할 수 있다. 또한, 웨이퍼 전송 자산은 기판을 정렬 할 때 더 높은 수준의 안정성과 정확성을 제공합니다. SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07에는 고해상도 패턴화와 뛰어난 기능 충실도를 제공하는 정교한 리소그래피 기능이 있습니다. 이것은 라인 스캐닝 (line-scanning) 전자 빔으로 구성된 고급 빔 광학 모델을 통해 달성되며, 이는 노출 시간을 줄이고 피쳐 크기의 정확도를 향상시킵니다. 마지막으로, SEMITOOL SRD 07은 자동 정렬 기능을 제공하여 매번 정확한 기판 배치를 보장합니다. 이 기능은 대용량 생산 프로세스에 매우 유용합니다. 즉, 사람의 오차를 줄이고 생산성을 높일 수 있기 때문입니다. 요컨대, SEMITOOL의 VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07 포토 esist 장비는 photolithography 응용 프로그램을위한 강력하고 유연한 시스템입니다. 정밀도, 정확도 및 자동화를 통해 마이크로 일렉트로닉스 컴포넌트 (microelectronics component) 생산에 이상적인 선택을 할 수 있습니다.