판매용 중고 SEMITOOL STI 870D #9307758
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ID: 9307758
Rinser / Dryer
Handle substrates diameter: 3"-6"
Dual stack
Wafer cassettes, 6"
(2) Rotors: H BAR IN, 2800 RPM MAX, BAL 0-25, A194 60MB
Operation / Maintenance manual.
SEMITOOL STI 870D는 미세 전자 포장, 얇음 및 웨이퍼 레벨 MEMS/NEMS를 가능하게하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 기판 재료 처리, 광석기 처리, 마이크로 제작을 위한 통합형, 고품질, 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 이 시스템은 습식 스테이션, 사전 청소 챔버, 프리 베이크 챔버, 마이크로 제작 챔버 및 도량형 유닛을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 습식 스테이션은 기판의 표면에 박막 (thin-film) 및 액체 광전물질 (liquid photoresist) 을 적용하여 정확한 기판 정렬 및 증착을 가능하게합니다. 사전 청소 챔버 (pre-clean chamber) 는 화학 물질과 기계 마모의 조합을 사용하여 기질에서 표면 오염 물질을 제거합니다. 그런 다음, 프리 베이크 챔버 (pre-bake chamber) 는 화학 증기 증착 기술을 사용하여 기판에 남아있는 유기 물질을 증발시킵니다. 그런 다음 마이크로 제작 챔버 (micro-fabrication chamber) 는 고출력 레이저를 사용하여 포토 esist를 수백만 개의 개별 회로 기능으로 패턴화합니다. 마지막으로, 도량형 기계는 회로 피쳐의 정확성과 해상도를 측정합니다. 이 도구는 반도체 산업 규격을 준수하도록 설계되었으며 복잡한 모양, 극적인 특징 크기 분산, 강렬한 기하학적 정확도를 재현 할 수 있습니다. STI 870D는 eelectronics 마이크로 제작 프로세스의 압축 효율성, 출시 시간 및 비용 제어를 초과합니다. 이 제품은 종합적인 자산 모니터링 및 프로세스 제어 소프트웨어 (Process Control Software) 를 갖추고 있으며, 엔지니어에게 실시간 데이터를 제공하여 교육받은 결정을 내립니다. 이 모델은 유지 보수가 적고, 비용이 저렴하며, 다른 기판 및 기능 크기를 처리하도록 쉽게 수정할 수 있습니다. 장비는 또한 매우 정확하고 반복 가능하여 대용량 생산에 이상적입니다. 전반적으로 SEMITOOL STI 870D는 효율적이고 비용 효율적인 마이크로 일렉트로닉스 패키징 및 제작을 가능하게하도록 설계된 고급 포토 esist 시스템입니다. 기판 재료 처리, 광석기 처리 및 마이크로 제작을위한 통합 플랫폼을 제공하며, 엔지니어의 고해상도 패턴화 (high-resolution patterning) 및 기하학적 정확도를 제공합니다.
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