판매용 중고 SEMITOOL STI 860 #9395485

SEMITOOL STI 860은 고급 마이크로 일렉트로닉스의 웨이퍼 처리를 용이하게하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 몰입, 스프레이, 사이클 타임 사용자 옵션을 갖춘 시스템의 자동 솔루션 화학 (Automated Solution Chemistry) 은 최고의 리소그래피 결과를 위해 일관되고 안정적인 저항을 제공합니다. 이 장치는 공기 입자에 대한 노출을 줄이기 위해 밀봉 된 환경 (sealed environment) 과 직접 구역 난방기 (zonal heating machine) 및 하단 히터 컨베이어 (bottom heater conveyor) 를 사용하여 균일 한 난방 및 일관된 습성을 보장합니다. 사용자 정의 노즐 디자인은 오버 스프레이 (over-spray) 없이 웨이퍼 (wafer) 표면에 정밀하고 일관된 분포를 제공하는 반면, 웨이퍼 주변의 얇고 낮은 속도의 용매 커튼은 정확한 온도 제어로 포토 esist를 효율적으로 제거합니다. 터치스크린 인터페이스 (Touch-Screen Interface) 를 통해 도구의 작업에 대한 그래픽 개요를 제공하며, 사용자가 설정에 쉽게 액세스하고 프로세스 단계를 추적할 수 있습니다. 또한 에셋은 직관적인 설정 마법사 (setup wizard) 를 통해 모델에 익숙하지 않은 사용자에게 단계별 지침을 제공합니다. STI 860의 특허 공정 기법을 통해 사용자는 사이클 매개변수를 개별 포토리스 연주자의 성능에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 노출 후 베이크 (bake-exposure bake) 및 침수 단계 (immersion stage) 동안 우수한 포토레스 보호 기능을 제공하여 더 높은 수준의 웨이퍼 수율을 제공하는 사이드 월 (sidwall) 보호 옵션을 제공합니다. SEMITOOL STI 860 은 시간당 최대 60 와퍼 (wafer) 의 높은 처리량을 제공하며, 사용자가 품질 또는 주기 반복성을 저하시키지 않고도 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 또한, 자동화된 시스템은 수동 청소 (manual cleaning) 를 제거하여 오염의 위험을 줄이고 매번 균일 한 결과를 보장합니다.