판매용 중고 SEMITOOL STI 860 #9012259

SEMITOOL STI 860 포토레시스트 장비 (Photoresist Equipment) 는 현대 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고, 안정적이며, 고도의 고급 기계입니다. 이 시스템은 수동 및 자동 wafer 처리 응용 프로그램 모두에서 뛰어난 균일성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 저항 스핀 코팅, 노출 후 베이크, 개발 및 에치 스텝 (etch steps) 을 포함한 모든 유형의 포토 리토 그래피 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. STI 860은 웨이퍼, 마스크, 포드 등의 기판 처리를 위해 컨트롤을 내장했습니다. SEMITOOL STI 860 기계는 6 스테이션 포탑 설계로, 전면과 후면을 통해 기판을 적재 및 언로드하는 데 탁월한 접근성을 제공합니다. STI 860 (STI 860) 의 챔버 디자인은 전체 웨이퍼 표면에서 교차 연결 저항의 균일 한 흐름을 제공하는 데 매우 효율적입니다. 전구체 전달 도구 (mechanical arm 및 flow distribution asset) 는 스핀 적용 프로세스 동안 포토 esist의 정확하고 심지어 분포를 보장합니다. 고급 Resist Spin Dryer 모델도 SEMITOOL STI 860 장비에 포함되어 있어 주변 오염 물질의 균일 한 건조와 배제를 보장합니다. 정밀 하중 플레이트 (precision load plate) 설계는 스핀 코팅 과정에서 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하며, 균일 한 저항의 두께와 균일성을 허용합니다. 정밀 유체 동작 제어를 제공하는 중량 모터 (heavy-duty motor) 를 포함시켜 기계의 내구성이 향상되었습니다. 또한 STI 860 은 절연 유리 (insulated glass) 로 구성된 대형 시청 창을 갖추고 있어 내부 프로세스 진행 상황을 더 잘 모니터링할 수 있습니다. 또한, 자동 제어 시스템은 매우 사용자 친화적이며 작동하기 쉽습니다. SEMITOOL STI 860은 고성능, 안정성, 자동화 덕분에 반도체 업계에서 탁월한 선택입니다. 고도의 고급 장치 (Highly Advanced Unit) 는 다양한 포토리스토그래피 요구에 대한 효율적인 솔루션을 제공하며, 대부분의 최신 반도체 제조 공정에 쉽게 통합 될 수 있습니다. 또한 STI 860은 웨이퍼 제작 및 저항 처리에 적합한 선택으로, 정확하고, 반복 가능하며, 균일한 결과를 제공합니다.