판매용 중고 SEMITOOL STI 860 #293757364

SEMITOOL STI 860은 반도체 산업의 응용 분야를 위해 설계된 고급 포토레스 처리 장비입니다. 이 시스템에는 포토리스 (photoresist) 처리 및 개발을위한 하드웨어 플랫폼과 소프트웨어 구성 요소가 포함되어 있으며, 사용자는 사진 해설을위한 기판 및 포토 마스크 (photomask) 를 준비하기위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. STI 860은 습식 벤치, 트랙 및 다양한 photolithography 모듈 (나선형 또는 선형) 구성으로 구성됩니다. 습식 벤치 (wet-bench) 는 포토 마스크 처리 및 개발을위한 드레인 및 린스 위치가있는 스테인리스 스틸 작업 표면입니다. 또한, 벤치에는 화학 연기의 대기를 소진하기위한 통풍구가 포함되어 있습니다. 트랙에는 모듈이 있으며, 각 모듈에는 photoresist 모듈, 개발자 모듈 및 건조 스테이션이 포함됩니다. photoresist 모듈은 스핀 척 (spin chuck), 기판 중심 스테이션 및 photoresist 솔루션을 포함하는 탱크로 구성됩니다. 개발자 모듈에는 스핀 척 (spin chuck), 개발자 솔루션 탱크 및 건조 스테이션이 장착되어 있습니다. 건조 스테이션은 다른 기판 유형 및 구성을 허용하도록 조정 할 수 있습니다. SEMITOOL STI 860 (SEMITOOL STI 860) 은 안전하고 효율적인 포토리스 처리 경험을 제공하기 위해 다양한 기능으로 설계되었습니다. 이 장치에는 처리 시간을 줄이고 머신 처리량을 향상시키기 위해 웨이퍼 피더 (wafer feeder), 캐리어 로더 (carrier loader) 및 웨이퍼 언로더 (wafer unloader) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 기판을 올바르게 처리하기 위해 후면 오염 제어 (backside contamination control) 및 기판 무결성 확인 스테이션이 장착되어 있습니다. STI 860은 반도체 산업을위한 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 포토레스 처리 자산입니다. 광범위한 기능을 갖춘 이 모델은 빠르고 안전한 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 보장합니다. 이 장비는 photomask 개발, wafer 결함 검사 및 리소그래피와 같은 응용 분야에 이상적입니다.