판매용 중고 SEMITOOL STI 260D #9206432

SEMITOOL STI 260D는 photolithography 프로세스에 사용하도록 설계된 photoresist 장비입니다. 최대 200mm2의 용량을 가진 2 챔버 수직 습식 프로세서입니다. 이 시스템에는 에칭 과정에서 포토 esist의 균일 한 해산을 보장하기 위해 SMVAS (Submerged Micro Vacuum Agitation Unit) 가 장착되어 있습니다. SMVAS 파는 4 Hz 주파수와 25mm 높이의 에치 챔버 (etch chamber) 를 통과하여 감광 층의 균일 한 용해가됩니다. 프로세서의 Submerged Micro Vacuum Agitation Machine은 염소 기반 에치, 암모니아 기반 에치, 습식 인 및 오존 에치와 같은 광범위한 에치 프로세스를 사용할 수 있습니다. 또한, SMVAS는 많은 에칭 프로세스에서 일반적으로 발생하는 백사이드 (backside) 를 줄이기 위해 설계되었습니다. 따라서 고해상도 애플리케이션에 적합합니다. 프로세서는 5 단계 컨트롤러가 장착되어 있으며 표준 19 인치, 10U 랙 장착 케이스에 장착되어 있습니다. 5 단계 컨트롤러는 고급 컴퓨터 제어 프로세스 컨트롤러로, 오늘날의 최신 사진 사진 촬영 (photolithography production) 에 필요한 사용하기 쉽고 정확하며 안정적인 프로세스 제어를 제공합니다. 각 단계의 제어는 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 독립적으로 달성됩니다. 이를 통해 오늘날 가장 고급 사진 (photolithography) 응용 프로그램에 필요한 높은 수준의 반복 가능성과 정확성을 얻을 수 있습니다. 프로세서의 기판 보유자는 최대 200mm2 (으) 로, 일반적으로 실험실에서 볼 수있는 것보다 더 큰 생산 배치에 이상적입니다. 또한, 에찬트 온도는 수동으로, 또는 컨트롤러에 의해 조정되어 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 가스를 자동으로 차단하고, 용매를 차단하고, 화학 물질을 에치 (etch) 할 수있는 안전 기능도 갖추고 있습니다. STI 260D는 모든 사진 분석 프로세스에 적합한 선택입니다. 5 단계 컨트롤러와 SMVAS (중소, 중견, 성장 기업) 는 정확하고 안정적이며 반복 가능한 프로세스 제어가 가능하며, 안전 기능은 안전하고 효율적인 작업 공간을 보장합니다. 이 자산은 200mm2 이하의 프로덕션 배치에 적합하며 표준 19 인치, 10U 케이스에 보관되어 있습니다.