판매용 중고 SEMITOOL ST-870 #9188736

SEMITOOL ST-870은 대용량 photoresist 응용 프로그램에 탁월한 성능을 제공하는 혁신적인 Photoresist Equipment입니다. 이 정밀 설계, 반자동 시스템은 직접 드라이브 스핀들 (spindle) 과 뛰어난 정렬 기능을 활용하여 정확한 반복 가능한 프로세스 결과를 위해 웨이퍼를 정확하게 조작합니다. SEMITOOL ST 870은 자동 스핀 속도 제어, 고급 가장자리 그리핑 플레이트, 스태킹 가능한 Process Cassettes, 4 포켓 및 듀얼 레인 화학 분포 등과 같은 광범위한 기능을 제공하여 스핀 속도, 유체 전달 및 기판 처리를 개선 할 수 있습니다. ST-870에는 매우 깨끗한 기판을 제공하는 웨이퍼 엣지 클리닝 장치 (wafer edge cleaning unit) 가 장착되어 있어 더 좋은 품질의 포토 esist 결과를 얻을 수 있습니다. 더 나은 기판 정렬을 달성하기 위해 ST 870은 레이저 정렬 기술 및 웨이퍼 모서리를 정확하게 식별하는 온보드 비접촉 에지 센서를 배포합니다. 머신에는 액체 개발자가 분배 된 후 향상된 포토 esist 커버리지를 위해 제거 된 마이크로 린서 스테이션 (Micro Rinser Station) 도 있습니다. 포토레시스트 도구 (Photoresist Tool) 는 다양한 프로세스 카세트, 웨이퍼 에지 처리 기술 및 포토레시스트 커버리지를 최적화하고 프로세스 변동성을 완화하는 도구를 제공합니다. SEMITOOL ST-870 (SEMITOOL ST-870) 은 또한 회전 기판 위의 0 ~ 300mm 위의 스프레이 린스 스테이션을 자랑합니다. 또한, 자산에는 자동 노출 제어 모델과 다중 레이저 대상 장비 (Multi-laser Targeting Equipment) 가 장착되어 있어 각 타겟에 대한 노출 도구의 일관된 접근 방식이 보장됩니다. SEMITOOL ST 870에는 후드 케이스 (hood enclosure), 연동 도어, 역압 제어 (reversed pressure control) 및 플로어 레벨러 (floor leveler) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있어 추가 보안 기능을 제공하며 시각적 알람이있는 고장 방지 시스템 및 예방 유지 관리 경고. ST-870 Photoresist Unit은 대용량 생산 환경의 특정 요구를 충족하도록 설계된 다용도 도구입니다. 이 기계는 다양한 정교한 기능을 통해, 매우 안정적인 결과를 위해 효율적이고 안정적으로 photoresist를 처리합니다.