판매용 중고 SEMITOOL ST-870 #9160073

SEMITOOL ST-870 Photoresist Equipment는 웨이퍼에 집적 회로를 에칭 또는 패턴화하도록 설계된 고급, 고정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 고급 IC 구성 프로세스에 사용되며, 통합 회로 성능에 매우 중요합니다. SEMITOOL ST 870은 유연성과 신뢰성을 염두에두고 설계된 배치 공정 습식 화학 시스템입니다. 높은 수준의 정확성과 반복성으로 인해 고급 웨이퍼 (wafer) 처리에 이상적인 도구입니다. 한 개 이상의 웨이퍼에 대해 포토리스 연주자 (photoresist) 와 에치 단계 (etch step) 를 동시에 수행하여 정확성과 반복성으로 처리합니다. ST-870은 2 개의 5 계층 프로세스 스테이션을 갖추고 있어 프로세스 처리량을 극대화합니다. 이중 간트리 (Gantry) 디자인은 두 팔의 독립적 인 움직임을 촉진하여 웨이퍼 (Wafer) 처리를 독립적으로 수행하고 스테이션 간 조정할 수 있습니다. ST 870 은 수직 으로 장착 된 화학 "펌프 '와 분배 장치 를 이용 하여 가공 하는 데 사용 되는 화학 물질 을 정확 하게 적용 하고 모니터링 한다. 내장 화학 관리 기계는 공정 매개변수에 관계없이 적절한 화학 물질 계량을 보장합니다. 이 도구는 또한 더 복잡한 포토 esist 처리를 수용하기 위해 조절 가능한 저항 트랙 높이를 갖습니다. SEMITOOL ST-870에는 컴퓨터 제어 열 이미징 자산이 장착되어 있어 웨이퍼 처리 중 정확한 온도 모니터링 및 피드백 제어가 가능합니다. 이 모델은 웨이퍼 프로세싱에서 원하는 수준의 반복성 (repeatability) 과 정밀성 (precision) 을 보장합니다. 또한, 화학 측정 장비는 SEMITOOL ST 870에 내장되어 있으며, 웨이퍼 처리 중에 사용되는 화학 물질을 지속적으로 모니터링 및 최적화 할 수 있습니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 처리 중 에 방출 될 수 있는 "가스 '나 공기 입자 를 포함 하도록 보호 인클로저 로 둘러싸여 있다. ST-870은 환경 오염을 최소화하고 엄격한 규제 지침을 준수하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치에는 잠재적 오류 또는 프로세스 부족 (Out of process) 에 대해 사용자에게 경고하도록 설계된 가청 경고 장치 (audible warning unit) 가 장착되어 있습니다. 전체적으로 ST 870 Photoresist Machine은 탁월한 정확성과 반복 성을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 도구입니다. 유연한 아키텍처와 혁신적인 기능을 통해 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리가 가능합니다. 내장형 안전 (Safety) 기능과 견고한 재료를 통해 고급 웨이퍼 처리를 위한 안전하고 안정적인 자산입니다.