판매용 중고 SEMITOOL ST 860 #293622249

SEMITOOL ST 860 (SEMITOOL ST 860) 은 최소한의 생산 중단으로 빠르고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 프로세스 결과를 제공하도록 설계된 아트 포토 esist 장비의 상태입니다. 이 시스템은 특히 LCD, MEMS 생산, 연구 및 개발 프로젝트와 같은 하이엔드, 대용량 애플리케이션에 적합합니다. ST 860의 기본 아키텍처에는 2 베이 자동 트랙, 2 개의 웨이퍼 카세트, 2 개의 배송 카세트, 2 개의 고성능 공정 챔버 및 2 개의 고온 플랫 플레이트 베이크 모듈이 포함됩니다. 두 트랙은 장치에 내장 된 단일 마이크로 프로세서 컨트롤러로 지원됩니다. 이를 통해 운영자는 모든 표준 웹 브라우저에서 시스템을 빠르고 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 독립형 열 제어 도구 (옵션) 는 정확하고 반복 가능한 열 처리 결과를 보장합니다. 통합 모션 앤 드라이브 (Integrated Motion and Drive) 자산은 포토리스 (Photoresist) 응용 프로그램을 위해 전례없는 수준의 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 선형 모터, 볼 나사, 선형 인코더로 구성되며, 위치 정렬이 용이하며, 빠른 속도 제어를 위한 고급 스테퍼 모터 (stepper motor) 기술로 구성됩니다. 이렇게 하면 반복 가능한 프로세스 결과뿐만 아니라, 시작 (start) 에서 종료 (finish) 까지 주기 시간이 단축됩니다. 이 장비의 두 개의 고성능 프로세스 챔버 (process chamber) 는 일관되고 안정적인 프로세스 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 두 챔버 모두 3 가지 크기의 기판을 수용 할 수 있으며, 온도가 매우 무감각하여, 광범위한 작동 온도에서 더 일관된 처리 결과를 제공합니다. 2 개의 고온 플랫 플레이트 베이크 (flat-plate bake) 모듈은 고급 온도 제어 기술을 사용하여 처리 중인 기판의 전체 표면에서 균일 한 온도 분포를 보장합니다. 또한 SEMITOOL ST 860 에는 센서 피드백 (옵션) 과 모니터링 시스템 (모니터링 시스템) 이 포함되어 있어 프로세스 매개변수와 시스템 상태를 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. 즉, 프로세스 매개 변수를 빠르고 쉽게 조정할 수 있으며, 운영자 오류 발생 위험을 사실상 없앨 수 있습니다. 이 장치는 SEMITOOL SPTSO 자동 프로세스 소프트웨어와 완벽하게 호환되며, 광범위한 백엔드 보고 기능을 제공합니다. ST 860은 Cleanroom 환경에서 사용하도록 설계되었으며 엄격한 ISO 9001 및 SEMI C002 표준으로 제조됩니다. 고급 설계, 견고한 구조, 직관적인 운영을 통해 SEMITOOL ST 860은 가장 까다로운 포토레지스트 (photoresist) 애플리케이션의 요구를 충족시킵니다.