판매용 중고 SEMITOOL ST 840 #9000640

SEMITOOL ST 840은 자동 습식 웨이퍼 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 추가 반도체 산업 공정 전에 코팅, 개발, 에칭 및 청소 웨이퍼에 사용하기 위해 습식 시스템, 광원 및 화학 물질로 구성됩니다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 증착, 에칭, 빛 노출 및 에치 후 청소와 같은 제조 프로세스의 여러 단계를 정확하게 제어합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 높은 수준 의 정확도 와 균일 함 으로 제조 된다. photoresist 기계는 동봉 된 습식 도구, 광원 및 화학 목욕을 둘러싸는 단일 주택으로 구성됩니다. 습식 자산은 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 설정하며 압력 조절기, 에친트를위한 벌크 탱크, 웨이퍼를 처리하기위한 회전실 (spinning chamber) 을 갖추고 있습니다. 광원은 강도와 파장에 대해 독립적으로 조정할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 를 노출시켜 원하는 photoresist 레이어를 제거하는 데 사용됩니다. 화학 목욕탕은 웨이퍼를 개발, 에칭 및 사후 청소를 위해 통제 된 환경을 제공합니다. 포토리스 (photoresist) 모델은 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 처리 매개변수를 사용자정의할 수 있도록 설계되었습니다. 광원은 가변 강도 (variable intensities) 와 파장 (wavelength) 으로 설정할 수 있으며, 에찬트, 농도 및 온도를 조정하여 원하는 에칭 프로파일을 생성할 수 있습니다. 또한, 스프레이, 스크럽 (scrub) 또는 린스 (rinse) 작업을 포함하도록 클리닝 프로세스를 사용자 정의할 수 있으며 자동 광학 장비로 웨이퍼 표면을 모니터링 할 수 있습니다. 세인트 840 (ST 840) 은 정확하고 일관된 웨이퍼 구성 결과를 제공하기 위해 설계된 견고하고 안정적인 기계입니다. 이 제품은 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 광전자 시스템은 반도체, 의료 기기, 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 와 같은 광범위한 응용 분야에 이상적입니다.