판매용 중고 SEMITOOL ST 840 #293621586
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세미톨 세인트 840 (SEMITOOL ST 840) 은 전자 공학에서 의료 기기 제조에 이르기까지 광범위한 산업의 가공 재료에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 자동 패턴화 (Automated Patterning), 이미징 (Imaging) 및 정렬 기능을 갖춘 최신 사진 리토그래피 기술을 기반으로 합니다. 세인트 840 (ST 840) 은 다양한 응용 프로그램을 위해 습식 및 건조 처리에 모두 사용하도록 설계되었습니다. 복잡한 패턴과 높은 정밀도로 장치를 경제적으로 생산할 수 있습니다. 이 장치에는 기판 위치 및 패턴 투영을위한 통합, 단일 조리개, 글로벌 종횡비 정렬기가 장착되어 있습니다. 정렬기는 쉽게 사용, 정렬 정확도 및 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 (automated) 패턴화 및 이미징 기능을 제공하여 기판 주위의 여러 위치로 이동할 수 있습니다. 이 기계는 강하고 유연한 노출 챔버 (exposure chamber) 설계를 통해 유전체, 도체, 포토 esist 유형을 포함하여 광범위한 재료를 노출 할 수 있습니다. 이 도구는 높은 토크 x, y, z- 스테이지를 특징으로하며 반복성은 1um까지, 드리프트는 0.5um으로 이동합니다. 고급 자동 노출 소프트웨어 패키지는 노출 정확성과 재현성을 보장합니다. SEMITOOL ST 840은 자동 초점 정렬, 고해상도 이미지 캡처, 평면 제어, OCR 지그 인식 등 다양한 자동 기능을 사용합니다. 이러한 자동화된 시스템은 원활한 운영을 보장하며, 원하는 패턴을 언제든지 정확하게 생성할 수 있습니다. 포토레시스트 (photoresist) 자산은 중앙 데이터베이스에 연결되어 실시간 모니터링, 보고 및 사고 분석을 제공합니다. 이 모델은 또한 고객이 메모리 데이터베이스에 액세스하고 그 정확성을 확인할 수 있는 안전한 온라인 환경을 제공합니다 (영문). 노출 시간 및 프로세스 복잡성을 줄이기 위해 고급 자동화 가속 (Automation Acceleration) 기술이 사용되었습니다. 이 장비는 기존 사진 촬영 프로세스에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 자가 모니터링 (Self Monitoring) 및 자가 진단 (Self-Diagnosing) 기능을 통해 서비스 및 유지 관리를 빠르고 간편하게 수행할 수 있습니다. 요약하면, ST 840 photoresist 시스템은 광범위한 재료를 처리하기에 적합한 고급 자동 장치입니다. 자동 초점 정렬 (autofocus alignment) 및 OCR 지그 인식 (OCR jig recognition) 과 같은 자동화된 기능으로 구축되어 노출과 패턴을 안정적이고 정확하게 만들 수 있습니다. 중앙 집중식 데이터베이스 및 자가 모니터링 기능으로 편의성이 더욱 높아지고, 높은 토크 x, y, z-stage를 통해 기판 주변의 여러 위치로 이동할 수 있으며, 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다.
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