판매용 중고 SEMITOOL ST-480 #9156435

SEMITOOL ST-480 (SEMITOOL ST-480) 은 다양한 산업 및 학술 응용 분야에 사용하기에 적합한 포토리스 처리 장비입니다. 이 시스템은 포토 esist 재료의 개발, 처리 및 특성화를위한 다양한 통합 구성 요소를 제공합니다. 이 장치는 포토레시스트 (photoresist) 처리 중 정확한 이동과 위치를 보장하기 위해 자동화된 로봇 전송 메커니즘으로 구성됩니다. 정밀 동작 컨트롤러는 정확한 반복성으로 인해 여러 프로세스 사이에서 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, "로봇 '은 원하는 출력 에 필요 한 온도 와 속도 를 자동 으로 조정 하도록 계획 되어 있다. 기계의 개발 및 처리 기능에는 특정 두께의 필름 (film) 및 레이어 (layer) 를 생성하기위한 다양한 저항 유형이 포함됩니다. 스핀 코팅 (spin coating) 과정을 사용하여 광물질 (photoresist) 을 기판에 균등하고 정확하게 소개합니다. 한편, 프로세스 스테이션에는 기판을 과잉 처리로부터 보호하기 위해 기판 클램프와 오토 스탑 (autostop) 이 장착되어 있습니다. 특성 스테이션 (Characterization Station) 에는 프로세스 결과의 품질과 정확성을 평가하기 위한 다양한 이미징 및 분석 컴포넌트가 포함되어 있습니다. 포토레스 레이어의 미세 거칠기와 균일성을 측정하기위한 표면 프로파일로미터 (surface profilometer) 와 재료의 광학적 특성을 측정하기위한 분광계 (spectrophotometer) 가 특징입니다. 통합 된 광학 현미경 구성 요소는 프로세스 결과를 시각화하는 데 이상적입니다. 이 포괄적인 포토레지스트 (photoresist) 도구를 사용하여 사용자는 재료 리서치 및 프로토 타입 (prototyping) 에서 잠재적 인 응용 프로그램뿐만 아니라 레이어 생성 및 분석을 위해 포토레시스트 (photoresist) 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 세인트 -480 (ST-480) 의 모듈식 설계 및 통합 구성 요소는 신뢰할 수 있는 반복성을 갖춘 매우 정밀한 포토레시스트 (photoresist) 프로세스를 수행할 수 있는 기능을 제공합니다.