판매용 중고 SEMITOOL ST 470 #9207419

SEMITOOL ST 470은 광범위한 정밀한 코팅, 개발 및 스트리핑 서비스를 제공하기 위해 설계된 강력하고 모든 기능을 갖춘 포토레지스트 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 단단하고 유연한 기판 모두에 fabricating fabs에 적합합니다. ST 470에는 SEM (Scanning Electron Microscope), Photoresist Coater, 통합 전구체 장치 및 스핀 프로세서가 장착되어 Photolithography 프로세스에 대한 최적의 제어 및 정밀도를 제공합니다. 기계의 SEM을 사용하면 표본 표면을 매우 자세히 검사하여 포토 마스크 모양, 크기, 기타 처리 매개변수를 동적으로 제어할 수 있습니다. 이것은 반도체 장치, 기판, photomask 사이의 정확한 인터페이스 작용을 위해 사용됩니다. 고해상도 광학 현미경은 기판 평탄도를 쉽게 판별할 수 있으며, 사진 해설의 성공에 대한 빠른 진단 및 검증 (verification) 을 제공할 수 있습니다. 통합 전구체 도구 (Integrated Precursor Tool) 는 포토레시스트 (photoresist) 또는 개발자 (developer) 의 정확한 전달을 제공하여 개발 시간과 프로세스 모두에 대한 정확성과 제어를 강화합니다. 이 자산 에는 화학 물질 을 위한 내부 저수지 와, 시간 을 절약 하고 낭비 를 감소 시키는 데 사용 되는 액체 의 양 을 추적 하는 "스마트 칩 '이 포함 되어 있다." 깨어라! " 또한, SC 470은 표본을 통해 개발자 솔루션을 자동으로 전달하는 스핀 프로세서 (spin processor) 와 자동 개발자 (automated developer) 를 모두 보유합니다. 이는 개발 시간이 항상 균일 한 결과에 대해 일관되고 정확한지 확인합니다. 또한 SEMITOOL ST 470에는 매우 정확한 핫 플레이트 (Hot Plate) 가 포함되어 있어 저항 필름의 최적의 성능을 위해 온도의 정확한 실시간 조정이 가능합니다. 핫 플레이트 (hot plate) 는 모델의 통합 공기 냉각과 함께 작동하여 정확한 공정 (process) 및 필름 두께 제어 (film thickness control) 를 제공하는 정확한 온도 조절을 제공합니다. 이 장비는 또한 웨이퍼 이동을 자동화하고, 시간과 노력을 절약하는 FOUP 로드/언로드 시스템을 사용합니다. 또한 FOUP 로드/언로드 장치 (load/unload unit) 에는 각 그룹 내에서 웨이퍼 위치를 자동으로 모니터링 및 보존하기 위해 통합 센서가 장착 된 체계적인 웨이퍼 트레이가 장착되어 있습니다. ST 470은 모든 photolithography 프로세스에 대한 탁월한 정확성과 제어를 제공하는 고급 photoresist 기계입니다. 이 도구는 다양한 기능을 통해 모든 크기의 박막 반도체 (Thin-film) 장치를 보다 효율적이고 반복적으로 처리할 수 있습니다.