판매용 중고 SEMITOOL ST 270D #9383156

SEMITOOL ST 270D photoresist 장비는 다양한 기판에 얇은 층의 photoresist 물질을 적용하는 데 사용되는 자동 습식 벤치 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 쿼츠, 유리, 세라믹 등 여러 기판의 정확하고 정확한 처리를 제공하도록 설계되었습니다. ST 270D에는 프로그래밍 가능한 자체 포함 스프레이어, 자동 도구 체인저, 초정밀 스테이지, 사용하기 쉬운 HMI (human-machine interface) 및 대기 압력 제어 장치 등 다양한 기능이 제공됩니다. 이 기계에는 자체 함유 스프레이 암 (spray arm) 이 장착되어 있는데, 이 스프레이 암 (spray arm) 은 기질의 방향에 관계없이 포토 esist 재료를 매우 정확하게 스프레이하는 데 사용됩니다. 이것은 스프레이 암 (spray arm) 을 움직이는 데 사용되는 고속, 고주파 드라이브 모터에 의해 가능합니다. 압력 "스프레이어 '는 물질 을 기판 의 표면 전체 에 균등 하게 퍼뜨릴 수 있도록 설계 되었다. SEMITOOL ST 270D에는 대기 압력 제어 도구 (atmospheric pressure control tool) 가 장착되어 있으며, 이는 챔버의 화학 물질의 압력을 조절하는 데 사용됩니다. 이것 은 "포토레지스트 '물질 의 정밀 분사 에 필수적 이며, 압력 수준 에 신속 히 변화 하지 않고" 포토레지스트' 물질 을 적용 할 때 보다 정밀도 가 높다. 또한 ST 270D에는 여러 기판을 처리하기위한 매우 정밀한 단계가 제공됩니다. 이것은 공기 베어링 (air bearing) 과 선형 샤프트 (linear shaft) 를 사용하여 이루어집니다. 즉, 무대는 매우 정확한 움직임이 가능하며, 이는 포토 esist 재료의 정확한 처리에 필수적입니다. SEMITOOL ST 270D에는 자산을 제어하는 데 사용되는 쉬운 HMI (Human-Machine Interface) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 운영자는 모델의 기능을 제어할 수 있고, 다른 프로세스 사이클 (process cycle) 과 프로그램 (program) 을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 마지막으로, 자동 공구 체인저 (auto tool changer) 는 정확도가 높은 다양한 도구를 변경할 수 있습니다. 이 로 인해 "스피너 '," 노즐', 연한 머리 와 같은 공정 도구 들 을 신속 히 전환 시킬 수 있으며, 그 로 인해 기판 은 유난히 빠른 속도 로 처리 될 수 있다. 세인트 270D (ST 270D) 는 다양한 기판의 정확하고 정밀한 처리를 위해 설계된 고성능 포토레시스트 (photoresist) 장비로, 처리 속도와 품질을 향상시키기 위해 설계된 많은 기능이 제공됩니다.