판매용 중고 SEMITOOL ST 270D #9166872

SEMITOOL ST 270D는 반도체 생산을 위해 설계된 자동 포토 esist 장비입니다. "포토레지스트 '및 기타" 에칭' 재료 들 로 "웨이퍼 '를 무늬 로 무늬 로 하고 있는" 오퍼레이터' 를 빠르고 정확 하게 제공 하는 고급 장비 이다. 이 시스템은 모든 유형의 기판에 대해 효율적이고 재현 가능한 포토레시스트 (photoresist) 처리를 제공하기 위해 완전히 자동화된 독립형 설계를 갖추고 있습니다. 이 장치는 모듈 식 형식으로 배열 된 4 개의 모듈 (클린, 개발자, 린스 및 큐어 모듈) 로 구성됩니다. 특허를받은 자가 조정, 모듈 식 전기 기계 플랫폼, 잠수함 암 (submerge arm) 이 장착되어 기계가 다양한 웨이퍼 크기와 스타일을 처리 할 수 있습니다. 또한 ST 270D에는 시간당 최대 250 개의 웨이퍼를 코팅 할 수있는 완전 자동 디스펜싱 및 사진 저항 응용 프로그램 도구가 있습니다. 에셋은 양수 (positive) 와 음수 (negative) 포토레지스트 (photoresist) 를 모두 처리하여 두껍고 얇은 증착층을 모두 가져올 수 있습니다. SEMITOOL ST 270D는 또한 원치 않는 오염 물질을 제거하기위한 조절 가능한 압력 퍼지 노즐 (pressure purge nozzle) 과 일관된 코트 밀도를 유지하는 균일 한 저항 스프레이 모델 (resist spray model) 을 특징으로합니다. 이 장비에는 최대 5 개의 독립 컴퓨터 컨트롤러가 있으며, 이는 분배 속도, 치료 매개변수, 프로세스 단계 타이밍 등 맞춤형 레시피로 프로그래밍 할 수 있습니다. 공구 내부의 온도, 습도, 산소 수준을 제어하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 자동화된 트랙 피딩 (track-feeding) 기능을 갖추고 있으며 다양한 기판 사이트 및 매거진과 호환됩니다. 또한, ST 270D 는 운영자가 프로세스 정확성과 디버그 문제를 확인할 수 있도록 해 주는 이미징 유닛을 포함합니다. 전반적으로, SEMITOOL ST 270D는 반도체 산업의 포토 esist 생산에 사용되는 고급 장비입니다. 완전하게 자동화된 독립형 디자인은 조절 가능한 압력 퍼지, 균일 한 저항 스프레이, 온도 및 습도 조절, 이미징 머신 기능으로 효율적이고 재현 가능한 포토 esist 처리를 보장합니다.