판매용 중고 SEMITOOL ST 2700 #9228767
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ID: 9228767
Spin Rinse Dryers (SRD)
With double decks
Silicon wafer, 6"
Heater and resistivity.
SEMITOOL ST-2700은 반도체 제작 산업에서 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 부품 (예: 집적회로 및 기타 관련 장치) 의 생산에 사용됩니다. 반도체 부품 생산을 위해 정확하고 정밀한 사진 이미징 (Photo Imaging) 과 화학 처리 (Chemical Processing) 를 제공하도록 설계된 자동 장치입니다. 세인트-2700 (ST-2700) 은 광 소시스트를 사용하여 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 필요한 영역을 코팅하여 웨이퍼 표면에 광자 및 에칭 패턴을 선택적으로 인쇄 할 수 있습니다. SEMITOOL ST-2700 기계는 노출 도구, 화학 가공 자산 및 지원 환기 모델로 구성됩니다. 노출 장비는 프로그래밍 가능한 컴퓨터에 의해 제어되며, 감광성 화학 물질 (예: 감광 물질) 을 웨이퍼에 노출시키는 데 사용될 수있다. 또한 "와퍼 '에 단순 하거나 복잡 한" 패턴' 이나 크기 를 인쇄 하는 데 사용 할 수 있는 "트윈 '광원 과" 렌즈' "시스템 '도 포함 된다. ST-2700의 화학 처리 장치 (chemical processing unit) 는 포토 esist 물질의 화학 처리를 담당합니다. 이 기계 는 광물질 의 개발 과 에칭 (etching), 그리고 다른 물질 들 (예: 금, 은 등) 을 "웨이퍼 '표면 으로 증착 시키는 데 사용 할 수 있다. 그것 은 또한, 생산 과정 중 에 사용 되는 화학 물질 의 청결 을 유지 하는 데 도움 이 되는, 통합 된 화학 재순환 도구 (integrated chemical recirculation tool) 를 갖추고 있다. SEMITOOL ST-2700의 환기 자산은 포토 esist 및 화학 처리 과정에서 발생하는 모든 유해 가스, 입자 및 연기를 제거하는 데 도움이됩니다. 이 환기 "모델 '은 또한 장비 의 부품 에 필요 한 냉각 장치 를 공급 해 주며, 그것 들 의 적절 하고 효율적 인 작동 을 보장 해 준다. & # 160; ST-2700 시스템의 성능은 속도와 정확도에 대해 매우 높은 평가를 받았으며, 반도체 업계에 이상적인 선택이었습니다. 또한 유지 보수, 고속, 내구성이 낮기 때문에 비용 효율성이 높습니다.
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