판매용 중고 SEMITOOL ST 2700 #293602067

ID: 293602067
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST-2700은 박막 장치 생산을 위해 설계된 자동 포토리스 장비입니다. 박막 장치 (Thin-film Device) 제작을 위해 기판을 반복적으로 처리 할 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 이 장치는 최대 300mm (mm) 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 박막 트랜지스터 (TFT), 박막 저항기, 박막 커패시터, 박막 인덕터, 박막 히터, 박막 히트싱크 등과 같은 장치를 생산할 수 있습니다. 등. ST-2700 은 고급, 완전 프로그래밍 가능, 자동화된 프로세스 컨트롤러로, 장치를 일관되게 생산할 수 있는 반복 처리 기능을 제공합니다. 온보드 컨트롤러는 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 잠재적인 문제를 신속하게 감지하고 해결할 수 있습니다. 이 기계에는 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 수용할 수있는 유연성을 추가 한 11 스택 로더가 포함되어 있습니다. 가변 마스크 크기와 모양으로 높은 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공할 수 있는 통합형 마스크 정렬기 (mask aligner) 가 있습니다. SEMITOOL ST-2700은 또한 내부 스캔 (in-situ scan) 을 통해 포토 esist 레이어의 품질과 균일성을 모니터링합니다. 세인트-2700 (ST-2700) 은 다양한 호환 포토레시스트를 사용하며, 이는 여러 장치 제작 프로세스에 사용될 수 있습니다. 여기에는 건식 (dry) 또는 습식 (wet) 프로세스가 포함되며 다양한 장치 유형과 모양을 허용합니다. 이 도구는 다양한 etch 및 lift-off 프로세스와 호환되므로 레이어 사용자 정의가 더 가능합니다. SEMITOOL ST-2700 은 다양한 디바이스 구성 프로세스를 지원합니다. 여기에는 photolithography, 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 계약 베이킹, 에칭, 리프트 오프, 고온 처리, 다단계 금속화, 청소 프로세스 등과 같은 열 과정이 포함됩니다. 이 자산은 박막 (Thin-Film) 장치를 제작하는 데 이상적이며, 빠르고 효율적인 프로세스와 함께 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 세인트 2700 (ST-2700) 은 디바이스 제작을 위한 안정적이고 고품질 플랫폼을 제공하는, 반복 가능한 프로세스를 지원하는 자동화된 모델입니다. 박막 장치 제작을 위해 효과적이고 신뢰할 수있는 장비를 제공하도록 설계되었습니다.
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