판매용 중고 SEMITOOL ST 270 #174250

SEMITOOL ST 270은 고급 석판 공정을 위해 설계된 정밀 광사 장비입니다. 이 제품은 고성능 집적 회로 (integrated circuit) 칩의 제작에 사용되며 나노미터 (nanometer) 스케일의 정확도로 석판화 기능을 만드는 데 필요한 엄격한 제어를 제공합니다. SEMITOOL ST-270 시스템에는 정밀 스테퍼가 포함되어 있으며, 이는 높은 정확성과 반복성을 가진 포토 esist를 적용합니다. 스테퍼에는 기판 테이블과 웨이퍼 포지셔너의 두 단계가 있습니다. 두 단계는 X 축과 Y 축으로 움직이며, 포토 esist의 증착에서 높은 정밀도를 허용합니다. 또한 가스 콘솔 (gas console) 이 포함되어 있으며, 포토 esist 적용 과정에서 다른 대기 가스를 도입 할 수 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 포지셔너 스테이지 (Wafer Positioner Stage) 에 장착 된 고해상도 카메라가 장착되어 있으며, 이를 통해 기본 기판을 사용하여 포토 esist 레이어를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 카메라의 해상도는 미크론 (Micron) 으로 측정되며, 작업자가 오차를 즉시 확인하고 진단 할 수 있습니다. 기계는 또한 포토 esist 디스펜스 밸브 (photoresist dispense valve) 를 함유하고 있으며, 이를 통해 웨이퍼에 포토 esist가 증착 될 수 있습니다. 이 "밸브 '는 고도 의 정확성 을 지닌 것 으로 설계 되었으며, 광유전물 을 초 당 최대 5" 나노미터' 의 속도 로 증착 시킬 수 있다. 세인트 270 (ST 270) 도구는 확장이 가능하도록 설계되어, 포토리스 (photoresist) 과정에서 고려해야 할 요소 수를 늘릴 수 있습니다. 예를 들어, 사용자가 포토레시스트 (photoresist) 레이어의 정렬 과정에서 고려한 변수 수를 늘리고자 할 경우, 추가 카메라 (camera) 또는 2 (2) 를 에셋에 추가할 수 있습니다. 전반적으로, ST-270 (ST-270) 은 가장 복잡한 석판 공정에서 신뢰할 수있는 결과를 제공 할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 높은 정확도와 해상도, 쉽게 확장, 수정할 수 있는 기능과 함께 하이엔드 (High-End) 집적회로 (Integrated Circuit) 칩 제조에 이상적인 선택입니다.