판매용 중고 SEMITOOL ST 260D #9271525

SEMITOOL ST 260D
ID: 9271525
Spin rinse dryer.
SEMITOOL ST 260D 포토레시스트 (photoresist) 장비는 다중 용도의 최적 머신으로, 사용자가 고급 반도체 장치의 생산을위한 다양한 프로세스와 화학 처리를 실현 할 수 있습니다. 이 시스템은 조정 가능한 공정/에치 시간, 플라즈마 증착의 균일 성, 다중 소스 기능 및 호환 가능한 공정 화학 물질로 인해 표준 포토 esist 시스템에서 두드러집니다. SEMITOOL ST-260D는 사용자에게 수평 또는 수직으로 최대 3 개의 공정 화학 물질을 분배 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 다중 소스 기능을 사용하면 프로세스를 구성하고 순차적 etch 시간을 제어할 수 있습니다. 또한, 조절 가능한 에치 타임은 고품질 필름 (film) 과 마감 제품 (finish product) 을 초래하는 복잡한 프로세스를 허용합니다. 필름 특성의 일관된 균일 성을 얻기 위해, 이 장치는 또한 가변 주파수 튜닝 (variable frequency tuning) 을 특징으로하며, 이는 플라즈마 증착 률 및 조성을 조정할 수있다. 이것은 기질 전체에 균일 한 플라즈마 밀도를 보장합니다. 또한 ST 260 D에는 완벽한 프로세스 제어 및 화학 처리 안전성을 보장하는 특수 안전 컨트롤러 (Special Safety Controller) 가 있습니다. 이 기계는 저가압 (low gas pressure) 과 누출 (leakage) 을 사용자에게 경고하는 것과 같은 고급 안전 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 즉, 민감한 의료 및 산업 운영에 사용할 수 있습니다. 이 포토리스 (photoresist) 도구는 하드웨어의 측면에서 기판을 쉽게 조작 할 수있는 컴팩트 한 모양으로, 이 자산은 실험실 사용에 이상적입니다. 총 설치 공간이 441mm x 441mm 인 이 기계는 모든 제한된 환경에 맞게 설계되었습니다. 또한 건식 배기 필터 모델 (dry-exhaust filter model) 형태의 추가 안전 기능이 제공되어 방전 된 화학 물질의 물방울 형성을 줄입니다. 전반적으로, SEMITOOL ST 260 D는 강력하고 포괄적 인 포토 esist 장비로, 고급 프로세스를 실현 할 수 있습니다. 조절 가능한 에치 타임, 플라즈마 증착의 균일 성 및 호환 된 공정 화학 물질은이 시스템을 실험실 기반 및 산업 응용 프로그램 모두에게 완벽한 선택으로 만듭니다. 안전 "컨트롤러 '를 사용 하여, 기판 과 최소 방울 의 형성 을 쉽게 조작 하여, 이 기계 는 품질 의 결과 를 보장 해 준다.
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