판매용 중고 SEMITOOL ST 260D #9248753
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ID: 9248753
웨이퍼 크기: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4"
Single stack
Standalone
TC20 Resistivity meter included.
SEMITOOL ST 260D (SEMITOOL ST 260D) 는 반도체 처리 애플리케이션의 특정 요구를 처리하도록 설계된 모든 기능을 갖춘 포토레지스트 장비입니다. 이 시스템은 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며, 효율적이고 안정적인 처리량을 통해 여러 웨이퍼 처리에 소요되는 시간을 최소화합니다. SEMITOOL ST-260D에는 표준 코어 컴포넌트 세트 (예: 포지셔닝 웨이퍼를위한 진공 척) 와 포토 esist 필름을 웨이퍼에 적용하기위한 조정 가능한 소스 메커니즘) 가 포함됩니다. 챔버에는 질소 가스가 방출 될 수있는 특별한 패널이 있으며, 나머지 포토 esist 연기가 사라집니다. 챔버의 온도는 내장 온도 조절 장치로 일정하게 유지됩니다. 이 기계는 또한 웨이퍼를 비추는 내장 LED 광원을 갖추고 있으며, 포토 esist 필름의 균일 한 커버리지를 허용합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 노출 매개 변수 (예: 각 웨이퍼의 노출 시간) 를 쉽게 제어, 수정할 수 있습니다. 이 도구를 빠르고 쉽게 보정하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. ST 260 D는 또한 포토 esist 처리 후 웨이퍼를 자동으로 청소하고 린스 할 수있는 기능을 가지고 있습니다. 링 (rinsing) 과정은 고압 전달 메커니즘을 사용하여 웨이퍼에서 잔류 포토 esist를 완전히 제거합니다. 이 자산은 또한 사용자 선호도에 따라 수동으로 조정 할 수있는 내장형 에어 블로어 (air blower) 모델로, 사내에서 웨이퍼를 건조시킬 수 있습니다. 또한 장비에는 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 긴급 상황 (Emergency Status) 동안 자동으로 종료되며, 이 장치는 잠재 오염 위험 (Contamination Hazard) 으로부터 사용자를 보호하기 위해 설계되었습니다. 이 고급 안전 (advanced safety) 기능을 사용하면 광전자 처리에 가장 적합한 결과를 보장하면서 기계를 안전하게 사용할 수 있습니다. 전체적으로 ST-260D는 안정적이고 효율적인 포토리스 (photoresist) 도구이며 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 첨단 기능 및 안전 규정 (Safety Regulation) 은 많은 기업에게 가장 중요한 선택이며, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 빠르고 손쉽게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다 (영문).
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