판매용 중고 SEMITOOL ST 260D #9195235
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SEMITOOL ST 260D는 다양한 수성, 반수성 및 용매 기반 포토 esist 물질을 다루도록 설계된 강력한 Photoresist Stripping Equipment입니다. 고급 기계식 설계를 갖춘 이 시스템은 소형, 중형, 대형 기판을 빠르고 쉽게 분리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치의 설계를 통해 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 세밀하게 튜닝하여 다양한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 주 프로세스 단위는 통합 서보 모터 (integrated servo motor) 에 의해 구동되며, 연속 (continuous) 또는 단계 (step) 인덱싱은 정방향 및 역방향, 가변 속도 인덱싱을 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 온도, 시간, 압력과 같은 프로세스 매개변수를 제어할 수 있습니다. 포토 esist 스트리핑 프로세스는 200W 스테인리스 스틸 공정 챔버에서 이루어지며 여러 개의 샤워 헤드, 순환 펌프 및 난방 요소를 포함합니다. 이렇게 하면, 재질 이 빨리 가열 되고, 균일 하게 치료 되고, 벗겨지게 된다. 열의 교환은 공정 챔버 (process chamber) 내에서 일관된 온도를 제공하는 가열 및 냉각 재킷 (cooled jacket) 으로 더욱 개선됩니다. SEMITOOL ST-260D에는 깨끗하고 반복 가능한 프로세스를 보장하는 많은 프로세스 안전 (process safety) 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 초과 온도 보호, 기판 높이 감지 및 공정 수온 제어 기계가 포함됩니다. 이로써 감광제 (photoresist) 와 기질 (기질) 에 대한 열적 충격 (thermal shock) 의 잠재력을 방지하고 프로세스의 작동 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 공정 안전 (process safety) 기능 외에도, 공구에는 다양한 기능이 포함되어 있어 전반적인 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 이러한 기능에는 시약 소비량 (low reagent consumption), 최소 물 사용량 (water usage) 및 한 프로세스에서 여러 기판 크기를 처리하는 기능이 포함됩니다. 전반적으로, ST 260 D (ST 260 D) 는 안전하고 비용 효율적인 방식으로 다양한 포토 esist 물질을 일관되게 제거 할 수있는 강력한 자산입니다. 첨단 설계, 공정 안전 (process safety) 기능을 갖춘 이 모델은 실험실과 생산 시설에서 사용할 수 있는 우수한 플랫폼을 제공합니다.
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