판매용 중고 SEMITOOL ST 260D #105445

SEMITOOL ST 260D photoresist 장비는 실리콘 및 석영을 포함한 다양한 기판의 집적 회로를 에칭 및 청소하기위한 도구입니다. SEMITOOL ST-260D (SEMITOOL ST-260D) 는 스핀 헤드, 진공, abra-sion 및 청소 섹션을 포함하여 시스템의 모든 구성 요소에 쉽게 액세스 할 수있는 모듈식 설계를 갖춘 고성능 스핀 코터입니다. 이 장치에는 스테인리스 스핀 헤드 (stainless steel spin head) 가 있으며 직경은 12.7 "입니다. 이를 통해 기판을 가변 속도로 균일하고 연속적으로 회전 할 수 있습니다. 균일하고 일관된 필름 두께를 보장하기 위해 스핀 헤드 (Spin Head) 에는 전동 가변 속도 컨트롤러 (Motorized Variable Speed Controller) 가 장착되어 있습니다. 스핀 속도는 1,800RPM까지 설정할 수 있습니다. 기판에 photoresist를 적용하기 위해 ST 260 D는 통합 진공기를 제공합니다. 이 도구에는 기판을 쉽게 로드하고 언로드할 수 있는 독특한 롤인 카세트가 포함되어 있습니다. 일단 적재 되면, "기판 '은 진공 상태 에 노출 되는데, 이것 은 광물질 을 표면 으로 끌어들이는 데 도움 이 된다. 진공 자산에는 커패시턴스 레벨 제어가 내장되어 있습니다. 이를 통해 기판 표면이 응용 프로그램 이전에 올바르게 충전되어 있으며, 이는 저항 (resist) 준수 문제를 줄이는 데 도움이됩니다. 에칭 및 청소를 위해 ST-260D는 습식 및 건식 처리 기능을 모두 갖추고 있습니다. 공격적인 청소 설정과 4 개의 침수 통이있는 연마 입자 사일로가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 더 적은 수의 프로세스 단계로 기판을 에칭 및 청소할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 웨이퍼 전송 장비 (Automated Wafer Transfer Equipment) 와 자원비용 (Resource Cost) 및 턴어라운드 시간을 줄이는 데 도움이 되는 프리 컬처 챔버 (Pre-culture Chamb ST 260D 포토레지스트 (photoresist) 시스템은 프로세스 유연성을 극대화하면서 처리 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 장치를 유지 관리 및 업그레이드할 수 있으며, 자동화된 프로세스는 수작업 (manual labor) 과 오류 (error) 를 줄이는 데 도움이 됩니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 SEMITOOL ST 260D는 다양한 IC 구성 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.