판매용 중고 SEMITOOL ST 260 #9293067

ID: 9293067
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST 260은 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 개발을 위해 제작 된 독립형 포토 esist 장비입니다. 독립형, 완전 자동화 (fully automated) 시스템이며 운영 환경에서 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. SEMITOOL ST-260 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 이중 터렛 머신으로 설계되어 있으며, 두 개의 개별 시스템을 한 번에 사용하고 작동 할 수 있습니다. 여기에는 2 개의 반자동 실행 (semi-automatic run) 과 완전 자동 실행 (fully-automatic run) 이 포함되어 있어 애플리케이션의 특정 요구에 따라 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이중 터릿 도구는 또한 배치 프로세스에 사용되는 시간과 재료를 줄입니다. 정밀 photoresist 처리를 위해 ST 260에는 최고급 모델 2200vb 회전 프리 앨리너, 분석 이미징 자산, 균일 한 스팟 크기 조명기 및 고정밀 X/Y 로드/언로드 모델이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 프로세스 매개변수와 photoresist 성능을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 포토 esist 레이어를 개발, 스트리핑 및 수동화하는 데 다양한 원자로를 사용합니다. 이 시스템은 또한 다양한 샘플을 포함하고 있으며, 다양한 유형의 기판 (substrate) 을 사용할 수 있습니다. photoresist 유닛의 성능은 뛰어납니다. 최대 200mm까지 높은 동적 웨이퍼 크기와 넓은 영역 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 뛰어난 시스템 제어를 제공하여, 사용자는 일관된 프로세스 성능과 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 생산 환경의 안전을 보장하는 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 여러 축 화재 억제 자산, 자동 차단 장치 및 비상 정지 버튼이 포함됩니다. 전체적으로 ST-260 포토 esist 모델은 프로덕션 환경에서 뛰어난 성능을 제공합니다. '신뢰성 있는 기술' 과 '직관적인 디자인' 은 정확한 포토레시스트 (photoresist) 처리 및 반도체 생산에 이상적인 솔루션입니다.
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