판매용 중고 SEMITOOL ST 260 #9170594

ID: 9170594
Spin rinse dryer (SRD).
세미 톨 세인트 260 (SEMITOOL ST 260) 은 반도체 산업에서 매우 복잡한 미세 전자 장치의 제조에 사용되는 광전자 장비입니다. 이 다목적 시스템은 회전 웨이퍼 스테이지, 자외선 (UV) 홍수 원 및 레이저 프로젝터로 구성되며, 이는 자외선이 있는 웨이퍼 표면을 노출시키는 데 사용됩니다. 스테이지는 자동화된 소프트웨어에 의해 제어되며 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 와 같은 고급 기술을 사용하여 복잡한 패턴을 생성합니다. SEMITOOL ST-260 (SEMITOOL ST-260) 은 특수 레이저 다이오드 프로젝터를 사용하여 웨이퍼 표면에 미세한 세부 사항을 만드는 데 이상적인 일관성 있는 빔 프로파일을 생성합니다. 이 프로젝터는 다양한 형태, 크기, 패턴 (pattern) 을 표시하도록 프로그래밍될 수 있으며, 복잡도 수준이 다른 다양한 포토레시스트 (photoresist) 를 생성하도록 설정할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 자외선 에 매우 민감 한 특수 물질 인 얇은 "포토레지스트 '층 으로" 웨이퍼' 를 코팅 '할 수 있다. photoresist를 적용한 후 레이저 프로젝터 (laser projector) 를 사용하여 사용자 정의 모양과 크기로 웨이퍼 (wafer) 의 서피스를 UV 광원에 노출시킬 수 있습니다. 자외선은 미세하게 튜닝 된 긴 파장 -UV 홍수 원에 의해 생성되며, 포토 esist의 노출 된 영역을 "연소" 하는 데 필요한 에너지를 제공합니다. 이 과정을 통해 사용자는 웨이퍼 (wafer) 표면에 복잡한 패턴과 모양을 생성할 수 있으며, 이어서 포토레스 에칭 프로세스 (photoresist etching process) 를 통해 기본 재료로 전달됩니다. 이 과정은 와퍼 (Wafer) 단계의 회전 (Rotation) 및 위치를 제어하는 소프트웨어로 인해 노출이 일관되고 신뢰할 수 있으므로 정확하고 정확합니다. ST 260 기계는 복잡한 마이크로 일렉트로닉 장치를 생산할 수있는 안정적이고 정확한 도구입니다. 간편한 운영, 프로세스 시스템 (Process Machinery) 과의 통합을 통해 원활한 워크플로우 작업을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 고정밀 레이저 다이오드 프로젝터 (Laser Diode Projector) 와 UV 홍수 소스 (UV Flood Source) 를 활용하여 매우 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, 자동화된 소프트웨어는 포토리스 (photoresist) 에칭 프로세스의 복잡성을 크게 줄이고 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다.
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