판매용 중고 SEMITOOL ST 260 #9012257

ID: 9012257
웨이퍼 크기: 4"-5"
Spin rinse dryer (SRD), 4"-5" Single chamber.
SEMITOOL ST 260은 반도체 제조 산업에서 사용하도록 특별히 설계된 모든 기능을 갖춘 포토레시스트 스트리핑 장비입니다. 이 시스템은 조정 가능한 스핀 속도 (spin speed) 를 사용하여 특정 작업에 필요한 속도를 설정하여 시간 (time) 과 재료 (material) 낭비를 없앨 수 있습니다. SEMITOOL ST-260에는 최적의 품질 제어를 위해 정확한 온도 및 습도 제어를 제공하는 환경 챔버 (environmental chamber) 가 있습니다. 또한 여러 웨이퍼를 처리하기위한 이중 구역 스핀 드라이브 (dual-zone spin drive) 와 최대 6 개의 개별 화학 물질을 저장하는 여러 저수지가 있습니다. ST 260은 고성능 드라이브 유닛과 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 작업을 모두 위한 유연한 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 컴퓨터에는 고해상도 컬러 LCD 패널 디스플레이와 고급 터치스크린 컨트롤 (Touch Screen Control) 이 장착되어 있어 운영자가 신속하게 설정을 조정하고 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 ST-260에는 BMA (Brushless Magnetic Assembly) 가 포함되어 있어 도구가 각 photoresist 스트립의 전송 방향을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 그것 은 튼튼 한 초음파 청소 "에셋 '을 가지고 있는데, 이" 에셋' 을 사용 하여 "리핑 '과정 중 에 전체" 웨이퍼' 표면 으로부터 화학 물질 을 청소 하고 플러시 할 수 있다. 세미 톨 세인트 260 (SEMITOOL ST 260) 은 또한 폐기물을 줄이고 공정 효율성을 높이는 것 외에도 시간이 지남에 따라 화학적 사용량을 최적화 할 수있는 화학적 끓임 기능을 가지고 있습니다. 또한 사전 설정된 경보 기능 (alarm function) 은 모델 성능이나 센서 감지 (sensor detection) 결함에 문제가 있는 경우 연산자에게 알리는 데 도움이 되며, 자동 조정 기능은 장비가 항상 제대로 작동하는지 확인하는 데 도움이 됩니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 SEMITOOL ST-260은 반도체 제조 산업을위한 포괄적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 스트립 솔루션입니다.
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