판매용 중고 SEMITOOL ST 240D #131147

SEMITOOL ST 240D (SEMITOOL ST 240D) 는 반도체 산업의 사진 해설을 위해 설계된 종합적인 포토리스 장비입니다. 에치 타임 (etch time) 에 대한 정밀 패턴화 기능과 정확한 제어 기능을 제공할 수있는 여러 가지 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있습니다. 시스템의 물리적 특성에는 깊이가 10 "/25.4 cm 인 16.7 "x 16.7 "/42.6 cm 챔버가 포함됩니다. 오리엔테이션 스테이션 (Orientation Station) 이 있으며 액체 및 드라이 포토 esist와 함께 사용할 수 있으며, 프로세스 요구 사항에 따라 가장 유연합니다. 또한 저항 솔루션 (resist solution) 에 대한 직접 가열 메커니즘이 있으며, 이를 통해 빠른 램프 다운 프로파일과 저항 온도의 정확한 조정이 가능합니다. 이 장치의 다른 특징으로는 최적화 된 부피 및 온도 조절을위한 제어 가능한 가스 분사 기계 (Controlable Gas Injection Machine) 와 반복성 및 처리량을 향상시키기 위해 설계된 습도 제어 도구 (Humidity Control Tool) 가 있습니다. 이 자산은 또한 풀 HD 옵틱, 고급 조명 매핑, 자동 스테이지 제어와 같은 고급 이미징 기술을 사용하여 정밀한 정렬 및 오버레이를 수행합니다. 또한 ST 240D 에는 광학 (optical), 레이저 (laser), 레이저 스캐닝 (laser scanning), 디지털 이미징 (digital imaging) 과 같은 다양한 노출 방법과 저항의 두께와 경도에 대한 정확한 제어가 가능한 고급 저항 제어 기능을 포함한 강력한 처리 기능이 제공됩니다. 또한, 이 모델은 내장, 자동 클리닝 스테이션, 능률적인 단일 단계 프로세스 사이클, SMIF, ARM, SMCS 시스템 등 공통 자동화와의 완벽한 통합과 같은 많은 시간 절약형 기능을 제공합니다. 요약하면, SEMITOOL ST 240D는 정밀 미크론 스케일 패턴화, 높은 처리량, 정밀한 에칭 및 저항 제어를 제공하도록 설계된 강력하고 다목적 인 포토 esist 장비입니다. 다양한 고급 이미징 기술, 유연한 가스 제어, 자동 클리닝 스테이션 (Automated Cleaning Station) 을 갖춘 ST 240D는 산업 사진 촬영 요구에 이상적인 선택입니다.