판매용 중고 SEMITOOL ST-2400 #293600511

SEMITOOL ST-2400은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 포토 esist 침수 장비입니다. 저장 용기에서 웨이퍼로 포토 esist를 전송하기 위해 진공 기반 접근 방식을 사용합니다. ST-2400 시스템은 포토 esist 수준과 온도를 제어하여 웨이퍼 처리 중 균일성과 정확성을 보장 할 수 있습니다. 이 장치는 포토 esist 침수 중 웨이퍼의 움직임을 구동하는 디스펜스 밸브 (dispense valve) 와 컨트롤러 (controller) 와 노즐 (nozzle), 고정 온도를 유지하는 난방 블록, 포토 esist 침수 중 공기 간격을 제거하는 진공 발전기로 구성됩니다. SEMITOOL ST-2400 기계는 다양한 photoresist 기판 구성을 가능하며 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 접촉 (Contact) 및 비 접촉 포토레지스트 침수 (non-contact photoresist submerging) 모두에 사용할 수 있으므로 다양한 프로세스 레시피를 구현 할 수 있습니다. 또한, 다양한 포토 esist 점도, 온도 및 침수 높이를 수용하여 전체 웨이퍼 (wafer) 에 대해 균일 한 포토 esist 커버리지를 달성 할 수 있도록 사용자 정의 할 수 있습니다. ST-2400 도구는 photoresist 수준, 온도, 침수 높이 및 기타 프로세스 매개 변수를 모니터링하기 위해 닫힌 루프 프로세스 제어를 갖추고 있습니다. 또한, 이 자산에는 모델 오류를 파악하고 제거할 수 있는 장애 복구 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 포토 esist 레이어에 갇힌 공기 거품을 제거하여 전반적인 공정 성능을 향상시키는 고급 진공 (advanced vacuuming) 기능이 있습니다. 이 장비는 포토레스 (photoresist), 솔루션 (solution), 혼합물 (mixture) 및 에뮬션 (emulsion) 과 같은 다양한 액체와 호환되므로 기존 코팅 프로세스와의 광범위한 호환성을 제공합니다. 또한, 정확한 기판 제어 및 고급 분배 기술 (Advanced Dispense Technologies) 덕분에 뛰어난 필름 성능을 낼 수 있습니다. 요약하면, SEMITOOL ST-2400은 신뢰할 수 있고 견고한 포토리스 스틱 침수 시스템으로, 정확한 프로세스 제어, 결함 복구, 정확한 기판 제어, 다양한 액체와의 호환성 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 신뢰할 수있는 특성과 결합하여 ST-2400을 반도체 장치 제조 응용 분야에 이상적인 단위로 만듭니다.