판매용 중고 SEMITOOL SSTF 421280M #293653192

SEMITOOL SSTF 421280M은 박막 증착 및 포토 리토 그래피 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 스핀 코터 (spin-coater) 와 스피너 (spinner) 를 결합하여 포토 esist를 기판으로 정확하고 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 스핀 코터 (spin-coater) 는 최대한의 균일 성을 가진 기질에 포토 esist 물질을 적용하는 데 사용될 수있는 반면, 스피너는 최대 40,000 rpm까지 기질을 회전 할 수있다. 이 시스템에는 재순환 칠러, 4 포트 웨이퍼 핸들러, 유니버설 덮개, 일회용 셀, 압력 소스, 미디어 저수지 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한 장치를 관리, 모니터링 및 제어하는 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 소프트웨어 패키지는 사용자 인터페이스, 레시피 관리자 및 데이터 로거 모듈로 구성됩니다. 재순환식 칠러 (recirculating chiller) 는 정밀 냉각을 제공하여 광물질 (photoresist materials) 이 증착 과정 전반에 걸쳐 일관된 온도로 유지되도록 보장합니다. 4 포트 웨이퍼 핸들러는 기판의 정확하고 균일 한 위치를 보장합니다. 유니버설 뚜껑은 원치 않는 주변 광 노출을 방지하는 데 도움이됩니다. 일회용 세포는 포토 esist 과정에서 깨끗함과 일관성을 유지합니다. 압력 원 (pressure source) 은 스핀 코팅 중 포토 esist 재료의 변형을 줄이는 데 도움이되며, 미디어 저수지는 포토 esist 솔루션을 분배하도록 설계되었습니다. SSTF 421280M 포토레시스트 머신은 두께, 층의 균질성, 표면 매끄러움 및 결함의 변화를 최소화하여 균일하고 신뢰할 수있는 증착 품질을 제공합니다. 또한 정확한 처리, 빠른 프로세스 시간 및 쉬운 운영을 제공합니다. 고급 디자인은 photolithography 프로세스의 비용 효율성과 재생성을 가능하게합니다. 이 도구는 코팅 된 드라이 필름, MEMS, 태양 전지, 복합 반도체 및 첨단 전자 부품의 통합과 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다.