판매용 중고 SEMITOOL SSTF 421270F #9265379

SEMITOOL SSTF 421270F 포토 esist 장비는 처리량을 높이고 프로세스 제어를 개선하는 차세대 스프레이 포토 esist 플랫폼입니다. 세미 툴 (SEMITOOL) 이 개발 한이 시스템은 스프레이 온 저항 (spray-on resist) 기술을 사용하여 기판에 포토 esist 물질을 빠르고 정확하게 증착합니다. 이 장치는 최대 60인치 (152cm) 의 웹 너비로 작동하며 동적 레시피 제어로 완전한 자동화를 자랑합니다. 이 기계는 프로세스 일관성을 유지하고 수율을 향상시키기 위해 최소 연산자 상호 작용이 필요합니다. 자동 저항 플럭스 밀도 (flux densitometry) 및 균일 성 측정이 가능하기 때문입니다. 스프레이 온 저항 프로세스는 도구의 스프레이 챔버에서 발생합니다. 스프레이 챔버 (Spray Chamber) 에는 프로세스 레시피에 의해 지정된 바와 같이 기판에 정확한 양의 포토 esist를 분배하는 스프레이 건 (spray gun) 이 포함되어 있습니다. 이러 한 "레지스트 '의 정확 한 적용 은 저항층 을 기질 을 균일 하게 덮고 오염 이나 축적 을 방지 하는 소형" 필름' 으로 통합 시킨다. 저항이 적용되면, 자산의 재 순환 루프 (recirculation loop) 는 사용되지 않은 포토 esist를 재사용하여 물질 폐기물을 줄일 수 있습니다. 또한 SSTF 421270F (Integrated Vision Alignment Model) 는 기판 패턴을 잘못 정렬하거나 결함을 검사하여 운영자가 실시간 레이아웃 보정을 수행할 수 있도록 합니다. 이 장비의 고해상도 카메라는 수동 마스크 정렬 (manual mask alignment) 없이 기판에 대한 전체 적용 범위를 보장합니다. 첨단 클리닝 시스템 (Advanced Cleaning System) 은 스프레이 코팅 (Spray Coating) 전후에 다양한 화학 물질을 사용하여 기판을 청소하기 때문에 자동화 및 프로세스 제어가 향상됩니다. 장치의 깨끗함은 온보드 입자 센서 및 인시 투 오존 (in-situ ozone) 발생기를 통해 모니터링됩니다. 또한 SEMITOOL SSTF 421270F 에는 프로세스 변수를 자동으로 식별하고 그에 따라 스프레이 매개변수를 조정하는 지능형 프로세스 제어 머신 (Intelligent Process Control Machine) 이 장착되어 있습니다. 이 자동화는 운영자 입력을 크게 줄이고, 저항층을 최적화하고, 표준화합니다. 민감성 저항층을 더욱 최적화하기 위해, SSTF 421270F는 일정한 습도 수준을 유지하는 수분 조절 환경을 포함한다. 기판 에 대한 "스프레이 '환경 을 적절 히 조절 함 으로써, 그 도구 는 저항층 의 수축 이나 연화 를 방지 할 수 있다. 전반적으로 SEMITOOL SSTF 421270F는 향상된 처리량, 향상된 프로세스 제어 및 정확한 저항층 형성을 제공하는 고급, 자동 스프레이 포토 esist 플랫폼입니다. 통합된 비전 정렬 자산, 자동화된 클리닝 모델, 지능형 프로세스 제어 (Intelligent Process Control) 및 습도 제어 (Humidity Control) 기능을 통해 수율을 극대화하고 스크랩을 줄일 수 있습니다. 따라서, SSTF 421270F는 최적의 포토 esist 시스템이 필요한 사람들을위한 차세대 솔루션입니다.