판매용 중고 SEMITOOL SSTF 42120F #9262874
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SEMITOOL SSTF 42120F는 사이클 시간을 줄이고 웨이퍼 수율을 개선하기 위해 설계된 완전 자동화 된 Selfconted photoresist 스트립 장비입니다. 이 고급 시스템은 최적화 된 소프트웨어 알고리즘 (Optimized Software Algorithm) 과 정밀 로봇 하드웨어 (Precision Robotic Hardware) 를 사용하여 웨이퍼가 동일한 수준의 정확성과 반복성으로 노출되는지 확인합니다. 이 장치는 소형 아키텍처 (compact architecture) 를 특징으로하며 광범위한 기판을 통합 할 수 있습니다. SSTF 42120F는 빠른 컨베이어 머신 (conveyor machine) 과 정확한 로봇 메커니즘을 사용하여 챔버에 웨이퍼를 공급합니다. 먼저 기판을 컨베이어에 적재합니다. 그런 다음 photoresist 처리 챔버로 운송됩니다. 챔버 내부에서 웨이퍼는 지정된 파장 및 강도의 UV 빛에 노출됩니다. 이 노출로 인해 웨이퍼에 균일 한 코팅이 형성됩니다. 노출 후, 웨이퍼는 챔버에서 운반되어 컨베이어에서 언로드됩니다. SEMITOOL SSTF 42120F는 자동 도량형 기능을 제공하며 프로세스 문제를 식별하는 고급 진단을 제공합니다. 이 도구는 사전 노출 (pre-exposure), 노출 후 (post-exposure) 및 여러 파장에 대한 노출과 같은 다양한 표준 노출 기능을 수행 할 수 있습니다. 또한, 에셋은 응용 프로그램의 요구 사항에 맞춘 맞춤형 노출 프로파일을 수행 할 수 있습니다. SSTF 42120F (Advanced Control Model) 는 폐기물을 줄이고 프로세싱의 정확성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 일관된 성능을 보장하기 위해, 장비는 노출 전에 기판 품질을 검사하는 지능형 테스트 프로토콜을 실행합니다. 또한 모든 노출 매개변수가 처리 전후의 정확성을 확인합니다. 이 소프트웨어는 또한 자동 피드백을 제공하며, 사용자가 시스템 설정을 사용자 정의할 수 있도록 합니다. SEMITOOL SSTF 42120F 에는 사용자 보호를 위한 다양한 안전 (Safety) 기능과 보호 메커니즘이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 가공하는 동안 웨이퍼에 영향을 미치는 공기 입자의 위험을 줄이기 위해 온보드 공기 여과 (on board air filtration) 를 특징으로합니다. 또한, "로봇 '장치 에는" 웨이퍼' 를 처리 할 때 충돌 과 기타 위험 을 피하기 위한 안전 "센서 '가 설비 되어 있다. 결론적으로 SSTF 42120F 포토 esist 유닛은 높은 수준의 일관성과 정확성을 제공합니다. 지능형 소프트웨어 알고리즘 (Intelligent Software Algorithms) 과 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능을 통해 웨이퍼가 설계된 사양 내에서 처리됩니다. 안전성과 자동화된 제어 머신은 안정적이고 안전한 처리 환경을 제공합니다.
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