판매용 중고 SEMITOOL SST #9359467

SEMITOOL SST는 SEMITOOL, Inc.에서 개발 한 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 높은 정밀도, 정확성, 반복 가능한 저항 코팅 및 스트리핑을 제공하는 자동 포토레스 코터입니다. 진공 증착 (vacuum deposition), 고급 광학 공정 제어 (advanced optical process control) 등 첨단 기술을 활용하여 최상의 결과를 제공합니다. 이 장치는 3 가지 주요 구성 요소 (챔버, 압축기 및 컴퓨터 머신) 로 구성됩니다. 챔버는 스테인리스 스틸로 구성됩니다. 그것은 2 개의 챔버로 구성되며, 하나는 진공 챔버, 다른 하나는 필름 증착 영역으로 구성됩니다. 통합 된 고정밀 스퍼터 증착 기구 (sputter deposition instrument) 는 필름 증착 과정을 제어하여 증착 속도와 레이어 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 압축기 는 공기 를 "챔버 '의 여러 부분 으로" 펌프' 하여 진공 을 일으킨다. 이 진공은 챔버 전체에서 균질 한 대기 환경을 가능하게하며, 균일 한 필름을 보장하고 퇴적에 저항합니다. 컴퓨터 제어 도구는 진공 수준을 모니터링하고 그에 따라 조정하는 데 사용됩니다. 자산은 또한 고급 광 프로세스 제어 (Optical Process Control) 를 사용하여 정확하고 일관성 있고 반복 가능한 저항 코팅 및 스트리핑 결과를 보장합니다. 이것은 스펙트럼 반사계 (spectral reflectometer) 와 분광사진계 (spectrophotometer) 를 사용하여 저항 코팅 및 기질의 광학적 특성을 측정함으로써 달성된다. 또한, 모델은 레지스트 레이어의 온라인 비 파괴 테스트 (NDT) 를 수행하여 균일 성, 접착 및 두께를 결정할 수 있습니다. 이것 은 "레지스트 '층 을 매우 낮은" 에너지' 수준 으로 검사 하는 최적화 된 주사 장치 를 통해 달성 된다. 마지막으로, 시스템은 코팅 및 스트리핑 결과를 확인하기 위해 포스트 프로세스 분석을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 배치 된 저항층 (resist layer) 의 정확성, 효율성 및 반복성을 보장하기 위해 여러 자동 프로세스가 장착되어 있습니다. 전반적으로, SST가 제공하는 고급 엔지니어링 (Advanced Engineering) 은 포토 esist 코팅 및 스트리핑을 위해 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 옵션입니다. 이 기계는 정밀도, 정확도, 일관성, 반복성, 사용 편의성 등 다양한 이점을 제공합니다.