판매용 중고 SEMITOOL SST #293654402

SEMITOOL SST
제조사
SEMITOOL
모델
SST
ID: 293654402
웨이퍼 크기: 8"
Spray solvent tool, 8" Dual chamber.
SEMITOOL SST는 반도체 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 레지스트 (resist) 로 알려진 화학 코팅 (chemical coating) 과 수직 스핀 프로세스 (vertical spin process) 를 결합하여 원하는 장치 수준 피쳐를 생성하기위한 리소그래피 효과를 달성하는 프로세스입니다. 수직 스핀 (vertical spin) 은 기판에 더 균일 한 코팅을 생성하여 잔류 빌드 업 (residue build-up) 을 방지하고 구멍 및 선 배치 정확도를 개선하여이 시스템의 핵심입니다. SST는 박막 트랜지스터 (TFT), 보완 금속-산화물-실리콘 (CMOS) 및 반도체 메모리 셀과 같은 현대 리소그래피 프로세스에 사용됩니다. 가변 스핀 속도 (variable spin speed), 조절 가능한 저항 두께 (adjustable resist thickness) 및 다양한 모양과 크기의 장치를 최소한의 불균일성으로 만들 수있는 정확한 저항 스프레이 패턴이 특징입니다. 그 반복성 (repeativility) 과 정확성 (accuracy) 은 장치 사양을 충족시키는 반면, 다용도 (versitility) 는 하나의 단위로 다른 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL SST 는 저점도 저항과의 호환성을 위해 설계되었으며, 보다 빠른 회전 속도 (spinning speed) 와 더 높은 해상도를 제공하여 보다 정확하고 안정적인 디바이스 수준 기능을 제공합니다. 이 기계는 저항성 두께 (Resist Thickness) 와 유속 (Flow Rate) 에 대한 정확한 제어를 위해 신뢰할 수있는 용매 내성 핸드 헬드 스프레이어와 고압 펌프가 장착되어 있습니다. SST는 오버프레이 (overpray) 와 오염 (contamination) 을 최소화하는 한편, 확장된 사용에 비해 검증된 신뢰성을 갖춘 낮은 유지 관리 도구를 제공합니다. 강력한 다용도, 정확성 및 신뢰성으로 인해 SEMITOOL SST는 컴팩트 트랜지스터, 플립 칩 어셈블리, 3D 집적 회로 및 기타 복잡한 장치 수준 제작 프로젝트의 생산에서 매우 귀중합니다.
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