판매용 중고 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279870

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U 포토 esist 장비는 반도체 칩 제조를 위해 설계된 통합 프로세스 시스템입니다. 이 장치는 감광 물질로 정확하게 코팅, 소프트 베이크, 개발 및 하드 베이크 실리콘 웨이퍼를 제조하도록 설계되었습니다. 리소그래피, photolithography, lift-off, solder masking 및 selective etching을 포함한 다양한 photoresist 프로세스에 적합합니다. 포토 esist 머신 모델 SST-C-6422-5060-U는 소프트 베이크, 코터, 개발자 및 하드 베이크의 4 개의 독립적 인 웨이퍼 챔버로 구성됩니다. 각 챔버 (chamber) 는 제어 환경을 포함 및 유지 할 수있는 챔버 베이스에 보관됩니다. 통합 샤워 헤드는 포토 esist와의 정확하고 균일 한 웨이퍼 코팅을 보장합니다. 이 도구에는 히터, 칠러, 진공 레벨 및 배기 기능도 장착되어 있습니다. 소프트 베이크 챔버 (Soft-bake Chamber) 는 포토 esist를 적용하기 전에 웨이퍼 표면을 준비하기 위해 정확하게 제어 된 온도 및 환경을 유지합니다. 코터 펌프 (Coater Pump) 는 포토 esist의 균일하고 일관된 코팅을 보장하는 정확한 여과 자산입니다. 개발자 챔버 (Developer Chamber) 는 온도가 제어되어 포토 esist가 치료하고 중합 될 수 있습니다. 하드 베이크 챔버 (Hard-bake Chamber) 는 히터를 사용하여 소프트 베이크 및 개발자 챔버 (Soft-bake and Developer Chambers) 동안 적용되는 포토 esist 재료를 강화합니다. 이 모델에는 장비 제어 및 프로그래밍을위한 간편한 내비게이트 (navigate) 터치 스크린 등 다양한 디지털 컨트롤이 포함되어 있습니다. 이를 통해 각 챔버의 프로세스 매개 변수가 0.1% 까지 정확한 프로그래밍 가능한 레시피 저장 및 검색 할 수 있습니다. 이 시스템은 프로세스 매개변수 업로드를 위해 SEMITOOL Design 소프트웨어와의 완벽한 연결도 제공합니다. SEMITOOL SST-C-6422-5060-U 포토 esist 유닛은 정밀한 화학 전달을위한 동작 제어 전달 기계, 균일 한 코팅 및 고정밀 화학 전달 도구를 제공하는 고정밀 부동 노즐을 갖추고 있습니다. 이 자산은 또한 각 반복으로 프로세스 안정성과 기판 균일성을 제공합니다. 요약하면, SST-C-6422-5060-U 포토 esist 모델은 반도체 칩 제조를 위해 설계된 정확하고, 다용도 및 사용자 친화적 인 통합 프로세스 장비입니다. 정밀한 공정 매개변수를 갖는 감광 물질로 코팅, 소프트 베이킹, 개발 및 하드 베이킹 실리콘 웨이퍼를 사용할 수 있으며, 각 반복에 대한 정확성과 일관성을 보장합니다.