판매용 중고 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279865

ID: 9279865
웨이퍼 크기: 6"
System, 6" TREBOR Magnum 610 pneumatic pump.
SEMITOOL SST-C-6422-5060-U 는 자동 컨베이어 모듈을 갖춘 포토리스 (photoresist) 장비로, 수동 노동을 줄이고 포토리스 프로세스 단순화를 위해 설계되었습니다. 반도체 웨이퍼 응용 프로그램을 위해 자동 포토리스 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 사진 저항 탱크, 습식 벤치, 프리 베이크, 스핀 코트, 노출 모듈 및 포스트 베이크 모듈을 포함한 여러 모듈로 구성됩니다. 사진 저항 탱크는 포토 esist 액체가 장치에 첨가 된 곳입니다. 웨트 벤치 (Wet Bench) 는 프리 베이크 (pre-bake) 및 포스트 베이크 (post-bake) 모듈에 전력과 열을 공급하고 포토 esist 탱크를 채울 책임이 있습니다. 사전 베이크 (Pre-Bake) 모듈은 스핀 코트 (Spin-Coat) 이전의 원하는 온도로 웨이퍼 표면을 가열하는 데 사용됩니다. 스핀 코트 (Spin-Coat) 모듈은 웨이퍼 표면에 얇은 포토레지스트 레이어를 적용합니다. 노출 (Exposure) 모듈은 웨이퍼 서피스를 특정 자외선 에너지에 노출시키는 데 사용되며 원하는 패턴을 웨이퍼 서피스에 제공합니다. 포토레시스트 노출 후, 포스트 베이크 (Post Bake) 모듈은 웨이퍼 표면을 가열하여 웨이퍼 표면의 패턴을 수정합니다. 이 기계는 photoresist 응용 프로그램을 위해 쉽고 안전하며 자동화된 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 우발적 인 운전자가 자외선에 노출되는 것을 방지하는 안전 연동 도구 (Safety Interlock Tool) 가 장착되어 있습니다. 또한 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 가 제공되어 자산 운영을 매우 단순화합니다. 이 모델은 또한 효율적인 유지 관리를 위해 설계되었으며, 소재 및 도구를 청소합니다. 결론적으로, SST-C-6422-5060-U는 효율적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 장비로, 수동 노동을 줄이고 반도체 웨이퍼 응용 프로그램의 포토 esist 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. 이 제품은 안전 연결 시스템 (Safety Interlock System) 과 사용자 친화적 인 GUI를 갖추고 있으며, 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다.
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