판매용 중고 SEMITOOL SST-C-632-280 #293808351

SEMITOOL SST-C-632-280은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 연간 최대 40,000 개의 4 인치 웨이퍼 (wafer) 의 생산 처리량을 지원하며 중요한 반도체 장치 제작을 위한 효과적인 저렴한 플랫폼을 제공합니다. SST-C-632-280 은 완전 자동화된 시스템으로, 유지 보수 및 소모품이 적은 비용으로 작동하며, 다양한 포토레지스트와 사진 해설자 (photolithography) 프로세스를 통해 최고 수준의 반복성과 정밀도를 제공합니다. 이 장치에는 3 축 정밀 변환 스테이지와 멀티 축 스캔 기능이있는 6 축 로봇 암이 있습니다. SEMITOOL SST-C-632-280은 고유한 스캐너리스 레시피 개발 머신 (scannerless recipe development machine) 으로 설계되었으며, 이 도구를 사용하여 여러 웨이퍼 또는 평면 패널을 동시에 처리할 수 있습니다. 이 고유 한 기능을 사용하면 특별한 오프라인 정렬없이 photoresist를 균일하게 노출 할 수 있습니다. 자산은 또한 다른 photolithography 프로세스 및 다중 노출에 대한 웨이퍼 프로세스를 동기화 할 수 있습니다. 웨이퍼 로드 장비, 프로세서 서브시스템, 전송 및 정렬 텐셔너, 스핀 척 히터 (Spin chuck Heater) 를 포함한 각 모델 컴포넌트는 닫힌 루프 작동으로 설계되고 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한이 시스템은 또한 클로즈드 루프 (closed-loop) 온도 제어 및 통합 진공 먼지 필터를 사용하여 웨이퍼 표면을 추가로 보호합니다. 포토 마스킹 및 포토 esist 개발 외에도 SST-C-632-280은 웨이퍼 클리닝, 스트리핑 및 베이킹 작업에도 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 자동 화학 조정과 용량 정확도를 갖추고 있습니다. 옵션 FM-Tune 자동 초점 장치는 해상도와 정확도를 더욱 향상시킵니다. SEMITOOL SST-C-632-280 photoresist machine은 광범위한 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 강력하고 비용 효율적인 솔루션입니다. 대용량 및 소형 배치 처리를 모두 처리할 수 있으며, 고해상도 포토마스킹 (photomasking) 작업을 지원합니다. 이 도구는 집적회로와 다른 하이엔드 반도체 (HP) 장치를 빠르고 안정적으로 생산할 수 있는 탁월한 선택입니다.