판매용 중고 SEMITOOL SST-C-621-280 #9360715

SEMITOOL SST-C-621-280 Photoresist Equipment는 코팅, 개발 및 스트리핑 포토 esist에 사용되는 최첨단 다중 구역, 단일 챔버 액체 및 건식 반도체 인라인 공정 도구입니다. 이 시스템은 200mm 및 300mm 습윤 공정 및 건식 공정 생산 라인에 적합합니다. 대용량 (Bulk) 또는 소용량 배치 (Small Batch) 생산이 가능하며 전체 운영 비용을 절감하면서 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. SST-C-621-280에는 특수 장비 없이도 처리 할 수있는 드라이 필름 포토리스트 (dry-film photoresist) 를위한 완전 자동화 로딩 장치가 장착되어 있습니다. 캐비닛 밀폐 머신은 제어 환경을 유지하여 최적의 필름 품질과 균일성을 보장합니다. 독립 제어 영역은 다양한 온도, 속도, 압력 및 화학 매개변수에 대해 구성 할 수 있습니다. 드라이 필름 포토 리스트 (dry-film photoresist) 는 챔버의 회전 프로세스 휠 세트에 로드되며, 각 6 개 영역은 특정 프로세스 매개변수에 대해 독립적으로 조정됩니다. SEMITOOL SST-C-621-280은 프로세스 사이클의 끝에서 사용하기 위해 스크러버/개발자 휠 (scrubber/developer wheel) 을 특화하여 과도한 포토 esist 솔루션 및 입자를 제거합니다. 스크러버 휠 (scrubber wheel) 은 최종 사용자의 특정 요구에 맞게 구성할 수 있는 3 가지 압력 설정으로 조정할 수 있습니다. 포토리스 스트 (photoresist) 도구에는 각 프로세싱 사이클 후 필름 품질을 검사하는 독점적 인 비전 검사 자산도 포함되어 있습니다. 이 검사 프로세스는 배치 및 웨이퍼 간 불일치를 최소화하며, 입자, 석판화, 처리 결함을 감지하고 식별할 수 있습니다. 모델의 냉각기 (cryo-cooling) 기능은 웨이퍼를 빠르고 효과적으로 냉각시켜 가공으로 인한 표면 손상을 완화합니다. 또한 SST-C-621-280에는 프로세스 검토 소프트웨어, Plasma Pre-Process, Auto-Loop Integration 등 다양한 옵션 및 고급 기능이 장착되어 있습니다. SEMITOOL SST-C-621-280은 안정적인 성능, 고해상도 이미징 및 필름 두께를 제공하여 반도체 생산을 능률적으로 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품은 습식 (wet-process) 또는 건식 (dry-process) 생산 라인을 위한 사용하기 쉽고 매우 정교한 도구로서, 장비에 내장된 품질 관리 매개변수를 통해 대량의 생산이 가능합니다.